Gebraucht KLA / TENCOR ES35D #9254833 zu verkaufen

KLA/TENCOR ES35D ist eine einzigartige Kombination aus einer Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die in Halbleiterherstellungsanlagen eingesetzt wird. Dieses Tool hilft, mikroskopische Defekte sowohl in Bildern als auch in Wafern zu erkennen, die in der Chipherstellung verwendet werden. Es verfügt über einen Inspektionsbereich, der Maskengrößen bis 356 mm x 438 mm und eine Wafergröße bis 508 mm aufnehmen kann. Das System verwendet eine patentierte Low-Backscattering Laser Learning Sensor (L3S) Technologie, um Fehler auf Bildern und Wafern zu identifizieren. Diese Technologie bietet extreme Empfindlichkeit und Genauigkeit bei der Erkennung von Defekten und kann sowohl Partikelverunreinigungen als auch Layoutdefekte erkennen. Es kann auch Defekte bis zu einem Submikronspiegel erkennen, so klein wie 0,05 Mikrometer, und kann Defekte mit einem hohen Grad an Genauigkeit erkennen. Die Einheit besteht aus zwei Teilen: dem Front-End und dem Back-End. Am Front-End nutzt die Maschine eine Mehrkanal-Optik mit variablem Zoomobjektiv, um hochauflösende Bilder bereitzustellen. Mit diesem Tool aufgenommene Bilder können in Echtzeit verarbeitet werden, sodass der Benutzer mehrere Wafer und Masken gleichzeitig effizient überprüfen kann. Auf dem Backend kann das Asset Bildanalyse (IA) -Messungen und kritische monolithische Fehlerinspektionen kennzeichnen, um den Ort potenzieller Fehler zu ermitteln. Es bietet auch Funktionen zur Musteranpassung und Formerkennung, um Orte zu identifizieren, an denen fehlerfreie Wafer oder Masken erforderlich sind. Das Modell kann Bilder an andere Orte exportieren oder die Inspektionsdaten in einer Datenbank speichern. KLA ES35D wurde entwickelt, um Fehlalarmwerte zu minimieren und den Produktionsdurchsatz zu erhöhen. Das Gerät verfügt auch über eine Reihe von automatisierten Funktionen, die Inspektionsgeschwindigkeit und Genauigkeit verbessern können, sowie manuelle Inspektionszeit zu reduzieren. Seine fortschrittliche Mustererkennungstechnologie hilft bei der Identifizierung und Analyse der Position von Partikeln und Layoutfehlern. Insgesamt ist TENCOR ES35D ein fortschrittliches und zuverlässiges Werkzeug für verschiedene hochauflösende Bild- und Waferinspektionsaufgaben. Es wurde speziell entwickelt, um die Fertigungsgeschwindigkeit und -genauigkeit zu verbessern. Die Laser Learning Sensor (L3S) -Technologie und die speziellen Back-End-Funktionen machen es zu einem äußerst nützlichen System für eine Vielzahl von Anforderungen an die Halbleiterproduktion.