Gebraucht KLA / TENCOR eS805 #293641968 zu verkaufen

KLA / TENCOR eS805
ID: 293641968
E-Beam inspection system.
KLA/TENCOR eS805 Masken- und Wafer-Inspektionssystem bietet hervorragende Leistung und Zuverlässigkeit für Defekt-, Prozess- und Messtechnik-Maske und Wafer-Inspektion auf heutigen Halbleiter-Produktionslinien. KLA- eS805 ermöglicht die Entwicklung, Charakterisierung, Debug und Produktionskontrolle, die für die Erfüllung der strengen Anforderungen fortgeschrittener Prozessknoten unerlässlich ist. TENCOR eS805 kombiniert fortschrittliche In-Line-Prozesskontrolltechnologien einschließlich SEM-Bildgebung und überlegene multivariate Analysefunktionen, um Kunden die Flexibilität zu ermöglichen, ihre eigenen Rezepte zu entwickeln oder werkseitig gelieferte Rezepte zu nutzen, um ihre Geräte korrekt zu überprüfen. Mit seinem Quantenalgorithmus-Prozessor (QAP) mit effizienter Motoroptimierung und einstellbaren Parametern kann das System eine Vielzahl von Herausforderungen der Prozesssteuerung bewältigen. Entworfen für flexible Konfigurationen, verfügt eS805 über mehrere im Feld erweiterbare Optionen, wie die Wahl der Wafergröße für höhere Produktivität, hochauflösendes SEM (HR-SEM) für bessere Bildqualität und High Power Laser für extra große Abdeckungsbereiche. KLA/TENCOR eS805 unterstützt auch mehrere Peripheriegeräte, einschließlich des Multi-Zone Projection Objective (MZPO) für eine verbesserte Gleichmäßigkeit über verschiedene Lose, sowie einen Side-View Detektor für seitliche Beleuchtung. Darüber hinaus bietet KLA eS805 eine umfangreiche Palette von Software-Dienstprogrammen, mit denen Kunden die Erträge einfach überwachen, die Rückverfolgbarkeit von Produkten feststellen und Prozessprobleme schnell erkennen können. Das Traceability Enhancement Tool (TET) ermöglicht die Überwachung der Partikelentwicklung über mehrere Wafer, Quellen und Lose hinweg. Die ergonomisch fortschrittliche MOTIF™ Benutzeroberfläche bietet fortschrittliche Algorithmen zur Verarbeitung und Präsentation von Inspektionsergebnissen, einschließlich On-Demand-Ansichten, Statistiken und Displays. Das System bietet auch Offline-Überprüfungs- und Analysefunktionen. TENCOR eS805 wurde entwickelt, um eine breite Palette von Inspektionsaufgaben zu erfüllen und gleichzeitig eine höhere Prozesskontrollleistung und einen höheren Datendurchsatz zu bieten. Mit seiner hochauflösenden Bildgebung, fortschrittlichen optischen Systemen und anspruchsvollen Bildverarbeitungs- und Messtechnik-Tools ist eS805 eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Wafer- und Maskeninspektionsanwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor