Gebraucht KLA / TENCOR FRJ CHANGER ASSY #9292415 zu verkaufen

KLA / TENCOR FRJ CHANGER ASSY
ID: 9292415
System Half wave EC SP2.
KLA/TENCOR FRJ CHANGER ASSY ist eine vollautomatische Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die die anspruchsvollsten Anforderungen für eine effiziente Produktion hochkomplexer integrierter Schaltungen erfüllt. Das System basiert auf einer modularen zweiarmigen Roboterhandhabungseinheit, die mehrere Workflows (jeweils nur einen Auftrag) und einen einzigen robotergesteuerten Kassettenwechsler zum Laden, Entladen und Wechseln von Masken und Wafern zwischen Prozessmodulen ermöglicht. Dies sorgt auch in dicht belasteten Werkstätten für minimale Verzögerungen und hohen Durchsatz. Die vom Roboter verwendeten Spannfutter sind für einfaches, schnelles Be- und Entladen von Masken und Wafern ausgelegt. Die Maschine ist auch mit einer detaillierten Benutzeroberfläche für Maske-Wafer-Querverweise, Ausrichtung und Inspektion ausgestattet. Die intuitive Werkzeugoberfläche dient dazu, Aufgaben intuitiv zu einem Bediener zu navigieren. Es bietet auch detaillierte Bilder des gesamten Asset-Layout, Ausrüstung und Prozesse verwendet, und Qualitätssicherungsberichte. Das Modell verfügt auch über eine integrierte Vision-Ausrüstung, die schnelle, genaue Messungen während des Fluges und Inspektion der Maske und des Wafers bietet. Dies trägt dazu bei, Prozessrisiken zu reduzieren und den Prozessertrag zu steigern. Die zugrunde liegende Prozessautomatisierungsarchitektur ist für die strengsten Produktionsanforderungen optimiert und ermöglicht hochpräzise und hochautomatisierte kritische Prozessfunktionen wie Belichtung, Ausrichtung und Klassifizierung. Dieses System unterstützt auch reinraumspezifische Merkmale wie die Wafer-Übertragung nach dem KLA-proprietären Transfer-Car-Konzept, was dazu beiträgt, Kontaminationen im Prozess zu reduzieren. TENCOR FRJ-Einheit bietet auch eine integrierte messtechnische Fähigkeit, die hochgenaue und wiederholbare Prozesskontrollmessung ermöglicht. Dies hilft, Prozessparameter schnell und präzise abzustimmen, um Risiken zu reduzieren und Erträge zu verbessern. Diese Maschine ist sehr zuverlässig und leicht wartbar und bietet den Bedienern eine sichere und effiziente Möglichkeit, Masken und Wafer zu inspizieren. Die kurzen Umrüstzeiten in Kombination mit dem präzisen und konsistenten Betrieb machen KLA FRJ CHANGER ASSY zu einer idealen Lösung für die kontinuierliche Produktion von Masken und Wafern.
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