Gebraucht KLA / TENCOR / HAMAMATSU R1617HA #200233 zu verkaufen

KLA/TENCOR/HAMAMATSU R1617HA ist ein Hochleistungs-Masken- und Wafer-Inspektionsgerät, das entwickelt wurde, um zuvor nicht erkennbare Defekte und Kontaminationen auf gemusterten Wafern zu erkennen. Das System kombiniert mehrere Inspektionstechniken, um den Anwendern höchste Flexibilität und Genauigkeit in ihrem Produktionsprozess zu bieten. Das Gerät bietet eine vollständige Palette von Inspektionstechniken, einschließlich Photomasken-Inspektion, Wafer-Inspektion, kritische Dimension (CD) Messung, und elektrische Tests, um Fehler zu erkennen, die mehrere Ebenen des Herstellungsprozesses von Maske zu fertigen Wafer. Zunächst bietet die Maschine erweiterte Maskeninspektionsmöglichkeiten. Mit Hilfe von Dunkelfeldlicht (DFL) und Hellfeldlicht (BFL) Bildgebungstechniken kann das Werkzeug zwischen Fehlern auf der Photomaske unterscheiden, die bei regelmäßiger Beleuchtung sichtbar oder unsichtbar sind. Darüber hinaus identifiziert die Rückseitenprüfung subtile Mängel auf der Rückseite der Maske und erweitert die Abdeckung durch konventionelle Asset-Designs. Als nächstes bietet das Modell eine präzise Waferinspektion und -analyse. Kritische Dimension (CD) -Inspektion erkennt und misst feine Details des Designmusters, während eine Reihe von Inspektionstechniken wie Transmission Dunkelfeld, helles Feld und spektrale Bildgebung ermöglichen die Ausrüstung eine breite Palette von Defekten auf der Waferoberfläche zu erkennen. Für elektrische Tests verfügt das System über integrierte Schaltkreise (IC), die eine geringe Fehlerdichte auf Produktscheiben ergeben. Zusätzlich zu diesen Merkmalen verwendet das Gerät speziell entwickelte Komponenten für eine Vielzahl von Sub-Mikron-Merkmalen und optische Dünnschichtstrukturen, die die Genauigkeit in einer Vielzahl von Anwendungen unterstützen. Darüber hinaus ist die Maschine mit fortschrittlicher Optik und Beleuchtungsquellen ausgelegt, um eine Fehlererkennung ohne Beeinträchtigung des Durchsatzes zu ermöglichen. Um maximale Zuverlässigkeit und Leistung zu gewährleisten, wird KLA R1617HA mit fortschrittlichen elektromagnetischen (EM) Tests, Vibrationen und Temperaturkontrollen entwickelt und hergestellt und nutzt robuste Hardware-/Softwarekomponenten und Werkzeugmanagementprozesse. Die Anlage ist zudem vollständig skalierbar und somit eine vielseitige Lösung für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen. Zusammenfassend ist TENCOR R1617HA ein leistungsstarkes Masken- und Wafer-Inspektionsmodell, das eine genaue Fehlererkennung, präzise Wafer-CD-Messung und zuverlässige elektrische Tests für eine breite Palette von Fertigungsprozessen bietet. Durch die Kombination eines ausgeklügelten Designs mit strengen Qualitätskontrollprozessen bietet das Gerät eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für fortschrittliche Produktionsanforderungen.