Gebraucht KLA / TENCOR INS 3000 / 3300 #9195887 zu verkaufen
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KLA/TENCOR INS 3000/3300 ist eine automatisierte Ausrüstung für die Masken- und Waferinspektion, die der Goldstandard für fortschrittliche Leistung und Konsistenz ist. Es kombiniert die leistungsstarken Fähigkeiten des 3D-Vollfeld-Bildgebungs-Subsystems mit der Flexibilität des 2D-Wafers und der Defekt-Bildgebung zu einem umfassenden Inspektionssystem. KLA INS 3000/3300 verwendet die neueste hochauflösende Bildgebungs- und Inspektionstechnologie, um die hochauflösenden Bilder von Defekten und Wafertopographie sowohl auf Makro- als auch auf Mikroskalen zu erfassen. Dies ermöglicht eine höhere Präzision und Genauigkeit bei der Inspektion mikroelektronischer Komponenten und der Steuerung von Wafergeometrien. Das automatisierte Wafer-Scanning nutzt auch die Hochgeschwindigkeits-CNC-Technologie, um eine genaue Messung und hohe Durchsatzraten zu gewährleisten. Das 3D-bildgebende Teilsystem erfasst genaue 3D-Rekonstruktionen der Wafer-Topographie und Fehlerstellen. Dies wird mit der proprietären Waferausrichteinheit KLA kombiniert, um eine Submikron-Genauigkeit an der Fehlerstelle zu erreichen. Die Abbildungsdaten dieser Maschine werden detailliert auf Fehler untersucht, die dann mit Bibliotheksreferenzstandards verglichen werden. Dieses Werkzeug ermöglicht die mikroskopische Auflösung von Defekten über große Waferbereiche. Das 2D Defect Imaging Asset ermöglicht eine hochpräzise Auswertung auf Nanometerebene sowohl für Defekte als auch deren zugehörige Merkmale. Dieses bildgebende Modell ermöglicht eine beispiellose Auflösung und Fehlersichtbarkeit, wobei die Erkennungsstufen deutlich unter dem Niveau von 10 nm liegen. TENCOR INS 3000/3300 ist eines der führenden Systeme in der Branche. Es bietet Kunden überlegene Leistung und Genauigkeit mit einer breiten Palette von Bildgebungs- und Fehlererkennungsfunktionen. Es liefert die höchsten Qualitätsergebnisse und eliminiert kostspielige manuelle Probenahme und Inspektion. Es ist eine ideale Wahl sowohl für F&E und hohe Serienproduktion in vielen Branchen.
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