Gebraucht KLA / TENCOR INS 3000 #9358651 zu verkaufen
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ID: 9358651
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Wafer defect inspection system, 8"
2001 vintage.
KLA/TENCOR INS 3000 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde, um eine schnelle Analyse und Sammlung von Daten über Bauelementmuster und andere Detailmerkmale bereitzustellen, die einer Überprüfung bedürfen. Das System besteht aus vier Hauptuntersystemen, die die optische Inspektionseinheit, eine Bilderfassungsmaschine, ein Bild- und Datenverarbeitungswerkzeug sowie ein Softwarepaket zur Datenanalyse umfassen. Die optische Inspektionseinheit besteht aus einem Satz Objektivlinsen und einer Laserdiode mit zwei Wellenlängen, die zur Inspektion, Analyse und Messung der oberen Oberfläche der integrierten Schaltungsmuster verwendet werden. Die Infrarot-Laserwellenlänge wird für eine verbesserte Auflösung verwendet und die sichtbare Wellenlänge ermöglicht eine präzise Abbildung von Mustern auf der Chipoberfläche. Das Bilderfassungsmodell erfasst die digitalen Bilder der Geräte und Muster und speichert diese im digitalen Format. Die hochauflösende bildgebende Ausrüstung ist für eine hohe Genauigkeit bei der Aufnahme und Speicherung detaillierter Bilder der Muster ausgelegt. Das Bild- und Datenverarbeitungssystem dient der Analyse der erfassten Daten zur Analyse und Verarbeitung. Diese Einheit umfasst in der Regel Hardwarekomponenten wie CPU, Bild- und Mustererkennungssysteme und digitale Signalverarbeitungssysteme. Das Softwarepaket enthält anwendungsspezifische Softwareprogramme zur hochgenauen Analyse und Anzeige der Gerätemuster und anderer Detailmerkmale. Es enthält Software, die an spezifische Anforderungen angepasst werden kann. Das Softwarepaket bietet auch Tools zur Datenanalyse und Statistik. Die KLA INS 3000 bietet eine integrierte Umgebung für die Masken- und Waferinspektion. Sein vielseitiges Design und fortschrittliche Technologien bieten hohe Geschwindigkeit und Genauigkeit bei der Inspektion und Analyse von Gerätemustern und Daten. Es ist weit verbreitet in der Halbleiterindustrie für eine breite Palette von Anwendungen wie Fehlererkennung, Gerätecharakterisierung, Partikeldetektion, Registrierungsmessung und Messtechnik.
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