Gebraucht KLA / TENCOR / INSPEX (Maske & Wafer Inspektion) zu verkaufen

Die KLA Corporation, früher als KLA-Tencor bekannt, ist ein führender Hersteller fortschrittlicher Prozesskontroll- und Ertragsmanagementlösungen für die Halbleiterindustrie. Ihre INSPEX-Serie von Masken- und Wafer-Inspektionsgeräten bietet umfassende und zuverlässige Lösungen zur Gewährleistung der Qualität und Integrität von Halbleitermasken und Wafern. Die INSPEX-Systeme von KLA verwenden fortschrittliche optische Technologien und Algorithmen, um Fehler an den Masken und Wafern genau zu erkennen und zu klassifizieren. Diese Geräte sind mit hochauflösenden Bildgebungsfunktionen ausgestattet, die es ihnen ermöglichen, detaillierte Bilder der Proben zu erfassen, die Daten zu analysieren und etwaige Auffälligkeiten oder Defekte zu identifizieren. Sie liefern schnelle und zuverlässige Inspektionsergebnisse und helfen Halbleiterherstellern, ihren Ertrag zu steigern und die Produktionskosten zu senken. Eine der von der KLA hergestellten Analoga ist das TPC 8520-System. Es ist für die Hochgeschwindigkeitskontrolle von kritischen Masken konzipiert, die in fortschrittlichen Lithographieverfahren verwendet werden. Der TPC 8520 bietet eine ausgezeichnete Fehlererkennungsempfindlichkeit bei gleichzeitiger Aufrechterhaltung niedriger Falscherkennungsraten, wodurch eine hohe Prüfqualität gewährleistet ist. Ein weiteres Beispiel ist das Eagle-System, das für die Waferinspektion optimiert ist. Der Adler bietet eine genaue und durchsatzstarke Fehlererkennung, die verschiedene Fehlertypen wie Partikel, Kratzer und Musterabweichungen erkennen kann. Es eignet sich sowohl für Front-End als auch für Back-End-Halbleiterprozesse. Der EX 3500 ist ein weiteres Maskeninspektionssystem der UCK. Es verfügt über eine fortschrittliche ultra-violette (DUV) Bildgebungstechnologie, die eine präzise und zuverlässige Fehlererkennung und -klassifizierung ermöglicht. Der EX 3500 ist in der Lage, eine Vielzahl von Maskentypen zu inspizieren, einschließlich binärer Masken, eingebetteter abgeschwächter Phasenschiebemasken (EAPSM) und alternierender Phasenschiebemasken (Alt-PSM). Insgesamt bieten die INSPEX-Masken- und Wafer-Inspektionsmaschinen der KLA Halbleiterherstellern modernste Lösungen, die es ihnen ermöglichen, die Qualität und Zuverlässigkeit ihrer Produkte sicherzustellen, den Ertrag zu verbessern und die Produktionskosten zu senken.