Gebraucht KLA / TENCOR KLA2810 #9241188 zu verkaufen
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ID: 9241188
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
Bright field inspection system, 12"
2009 vintage.
KLA/TENCOR KLA2810 ist eine von der KLA entwickelte Masken- und Waferinspektionsanlage, die zur Erkennung von Defekten in IC-Produkten verwendet wird. Das System kombiniert fortschrittliche Bilderfassungs- und Analysetechnologie mit innovativer Optik, um eine genaue und wiederholbare Fehlerinspektion zu ermöglichen. Die KLA KLA2810 basiert auf der fortschrittlichen Architektur „FastFoundry“ von TENCOR und ermöglicht so einen hohen Durchsatz bei kurzen Prüfzykluszeiten. Dadurch kann das Gerät Fehler im Herstellungsprozess schnell erkennen und die nachgeschaltete Ausbeute optimieren. TENCOR- KLA2810 können eine Vielzahl von Substratgrößen einschließlich Wafer, Masken und Photomasken mit einer Reihe von Auflösungen von 0,1 Mikron bis über 20 Mikrometer inspizieren. Es verfügt über eine integrierte Hochgeschwindigkeitskameramaschine mit 2K-, 4K- und 5K-Pixelauflösungen, die an eine leistungsstarke Bildverarbeitungsplattform gekoppelt ist. Die Software-Tools von KLA2810 ermöglichen eine schnelle und einfache Fehlerabstimmung und Filterung. Auf diese Weise kann das Werkzeug eine Vielzahl von Defektmustern mit hoher Genauigkeit erkennen. Erweiterte Fehlererkennungsalgorithmen, wie volumetrische, farbige, Kornrauschen und Widerstand, können verwendet werden, um gemeinsame Muster zu lokalisieren, die bei ersten Maskeninspektionen gefunden wurden. Darüber hinaus können sich KLA/TENCOR KLA2810 mit externen Datenquellen und Ertragsmanagementsystemen verbinden, was eine schnelle und effiziente Analyse der Produktionsleistung während der Diagnose und Auflösung ermöglicht. KLA/TENCOR bietet auch eine Reihe von Fehlerklassifizierungsoptionen, die Anwendern helfen können, die Art des Fehlers und seine Quelle zu bestimmen, um nachgelagerte Nacharbeiten zu reduzieren. Zusammenfassend ist KLA KLA2810 eine leistungsfähige, schnelle und genaue Masken- und Wafer-Inspektion, die Herstellern helfen kann, Fehler schnell und genau zu erkennen. Mit seinen erweiterten Bildaufnahme- und Analysefunktionen sowie seinen schnellen Zykluszeiten und erweiterten Optionen zur Fehlerklassifizierung bietet es eine zeit- und kosteneffiziente Lösung zur Behebung von Fehlerproblemen in integrierten Schaltungen.
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