Gebraucht KLA / TENCOR MPV-CD #9093155 zu verkaufen

KLA / TENCOR MPV-CD
ID: 9093155
Line width measuring system, 5".
KLA/TENCOR MPV-CD ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die Halbleiterindustrie. Es ist als modularer Aufbau aus mehreren Teilsystemen konzipiert, die alle zusammenarbeiten, um ein automatisiertes System zur Inspektion von Halbleitermasken und Wafern bereitzustellen. Zu diesen Teilsystemen gehören die automatisierte Bühne, eine Abbildungseinheit, ein Roboterlader und eine Kameramaschine. Die automatisierte Stufe ist dafür verantwortlich, die Bewegung von Wafer und Maske über die bildgebenden Systeme zu erleichtern. Es ist mit Präzision und Genauigkeit im Auge gebaut, so dass der Benutzer mühelos die Wafer oder Maske für die Bildgebung zu positionieren. Dadurch wird sichergestellt, dass die endgültigen Bilder scharf und von hoher Qualität sind. Das bildgebende Werkzeug besteht aus einer gekühlten CCD-Array-Kamera, die ein hochauflösendes Bild des Wafers oder der Maske liefert. Zusätzlich ist das bildgebende Element mit einem Zoomobjektiv ausgestattet, das die Einstellung von Größe und Auflösung des Bildes ohne manuellen Eingriff ermöglicht. Der Roboterlader ist so konzipiert, dass er den Wafer oder die Maske von einem Modell zum anderen bewegt. Der Roboterlader ist in der Lage, den Wafer oder die Maske mit kontrollierten Geschwindigkeiten zu bewegen, was ihn ideal für die Übertragung mehrerer Wafer und Masken macht. Zusätzlich ist es mit einer Sensor- und Timer-Ausrüstung ausgestattet, die sicherstellt, dass der Wafer oder die Maske richtig geladen wird und die Bildübertragung erfolgreich abgeschlossen ist. Das Kamerasystem ist dafür zuständig, das Bild des Wafers oder der Maske zu erfassen und an die Abbildungseinheit zu übertragen. Die Kameramaschine ist mit höchster Genauigkeit gebaut, um sicherzustellen, dass das aufgenommene Bild von höchster Qualität ist. Darüber hinaus ist das Kamerawerkzeug mit einer automatisierten Fokussiereinrichtung ausgestattet, die dafür sorgt, dass das Bild auf das Abbildungsmodell fokussiert wird. Sobald das Bild aufgenommen ist, wird es der Bildverarbeitungseinrichtung zur Verarbeitung vorgelegt. Das Bildverarbeitungssystem wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Funktionen zu erkennen und zu messen, einschließlich Funktionen wie Defekte, Kontaminationen, Anomalien und sogar Formen. Schließlich verwendet das Gerät eine Steuerungsmaschine, um sicherzustellen, dass jedes der Subsysteme synchronisiert und effizient läuft. Dieses Steuerwerkzeug ermöglicht einen nahtlosen Betrieb, so dass es Aufgaben schnell und effizient erledigen kann. KLA MPV-CD ist eine hochmoderne Anlage, die eine automatisierte Lösung für die Halbleiterproduktionsindustrie bietet. Es ist mit mehreren Subsystemen ausgestattet, die eine effiziente Inspektion von Halbleitermasken und Wafern ermöglichen und eine ideale Lösung für Halbleiterproduktionsanlagen bieten.
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