Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP #121998 zu verkaufen

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ID: 121998
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
In-line patterned wafer inspection system, 8", 1998 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die die Herstellung von Halbleiterbauelementen erleichtert. Das System ermöglicht die Erkennung von kritischen Defekten über mehrere Masken und Wafer, um die höchstmögliche Qualität eines Geräts zu gewährleisten. Das Gerät umfasst eine Hochleistungskamera, 4-Kanal-Laserbeugungstechnologie, integrierte Mustererkennung und bildgebende Sonden. Darüber hinaus verfügt KLA 2138 XP über eine umfassende Software-Suite, die die für eine präzise Masken- und Waferinspektion erforderliche Flexibilität und Genauigkeit bietet. TENCOR 2138 XP verwendet einen einzigen Kamerakopf, um Bilder von Masken und Wafern zu erfassen. Der Kamerakopf besteht aus einem digitalen Bildsensor und einer Optik, die sich automatisch an die Vergrößerung der untersuchten Probe anpasst. Dies ermöglicht sowohl eine hohe Auflösung kleiner Funktionen als auch eine geringe Vergrößerung größerer Funktionen. Die hochauflösenden Bilder ermöglichen es dem Benutzer, nanoskalige Funktionen mit beispielloser Genauigkeit zu überprüfen. Die in der Maschine eingesetzte 4-Kanal-Laserbeugungstechnologie sorgt für außergewöhnliche Detektionsempfindlichkeit. Die 4-Kanal-Laserbeugung arbeitet mit mehreren Laserstrahlen, um kleinere Defekte an Maske und Wafer zu erkennen. Das Werkzeug verarbeitet die mehrfachen Laserstrahlbilder zusammen, was zu einer viel höheren Empfindlichkeit als ein einzelnes Strahlengut führt. Die leistungsstarken Mustererkennungsfunktionen von 2138 XP ermöglichen es dem Modell, kritische und unkritische Fehler leicht zu erkennen und zu unterscheiden. Darüber hinaus bieten die fortschrittlichen bildgebenden Sonden, die in das Gerät integriert sind, eine breite Palette von bildgebenden Funktionen. Diese Funktionen umfassen Rückseitenbildgebung, Oberflächenstrukturanalyse und Rücktoninspektion. Die Abbildungssonden von PROMETRIX 2138 XP bieten eine äußerst genaue Analyse der Oberflächenstruktur und der Qualität der Rückseitenmuster. KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP enthält auch eine umfassende Software-Suite, die eine Reihe von leistungsstarken und flexiblen Tools für eine Vielzahl von Masken- und Waferinspektionsaufgaben umfasst. Die Software bietet Tools wie Fehlererkennung und -klassifizierung, automatische Maskenregistrierung und Fehlerklassifizierung. Darüber hinaus bietet die Software benutzerfreundliche Menüs und Schnittstellen, die es dem Benutzer ermöglichen, einfach durch die Komplexität des Systems zu navigieren. KLA 2138 XP bietet höchste Fehlererkennungsgenauigkeit und Abdeckung für Masken und Wafer. Seine hochauflösende Kamera, 4-Kanal-Laserbeugungstechnologie und integrierte Mustererkennungs- und Bildgebungssonden in Kombination mit seiner umfassenden Software-Suite bieten Anwendern die Werkzeuge, die sie benötigen, um die höchste Qualität in ihren Halbleiterbauelementen zu gewährleisten.
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