Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP #9229839 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP ist eine Hochgeschwindigkeits-optische Masken- und Waferinspektionsanlage, die kritische Geräteparameter im Halbleiterherstellungsprozess messen kann. Dieses System wurde entwickelt, um potentielle Fehler in Halbleiterbauelementen zu erkennen und sicherzustellen, dass die Qualität und Zuverlässigkeit erhalten bleibt. Es inspiziert bis zu 8-Zoll-Durchmesser Wafer und Substratmaterialien und arbeitet mit hohen Geschwindigkeiten von bis zu 2000 Wafern pro Stunde (WPH). KLA 2138 XP verfügt über ein einzigartiges 4-Säulen-Design, das zwei unabhängige Kanäle und zwei gleichzeitige Prüfstellen ermöglicht. Dadurch können im Vergleich zu anderen herkömmlichen Maskeninspektionssystemen mindestens doppelt so viele Bilder (bis zu 160.000 Bilder pro Stunde) aufgenommen werden. Darüber hinaus eignen sich die beiden parallelen Inspektionsstellen gut für den nebeneinander liegenden Prozessvergleich, wie sie in Lithographie- oder Implantatvergleichen benötigt werden. Die Maschine verfügt über mehrere Sensoren, die jeden Schritt des Inspektionsprozesses überwachen. Dazu gehören LER-Sensoren (Advanced Line-Edge Roughness), Interferometer, Gammastrahlen und Wellenfrontsensoren. Jeder dieser Sensoren misst verschiedene Attribute, die für die Erkennung, Klassifizierung und Korrektur von Fehlern wesentlich sind. TENCOR 2138 XP verwendet auch Defect Global Enhancement (DGE), einen fortschrittlichen proprietären Algorithmus, um Fehler sowohl in großen als auch in kleinen Dimensionen über große Bereiche schnell zu erkennen. Mit seinem innovativen Design kann der DGE-Algorithmus kleine Partikel aus Waferhintergründen analysieren und die Defekte in der fehlerfreien Signalverarbeitung identifizieren. Das Tool verfügt über verschiedene Softwarepakete, die es ermöglichen, die meisten Arten von Substraten zu überprüfen - wie Solar, MEMS, LCD und OLED-Geräte - und liefert detaillierte Ergebnisse mit Submikron-Auflösung. Es kommt auch mit integrierter 3D-Kompensationstechnologie, die Bilder anpassen und korrigieren kann, um Genauigkeit und Präzision zu gewährleisten. Schließlich ist das Asset mit sicheren Dateisystemen ausgestattet, die eine auf Anmeldeinformationen basierende sichere Speicherung und Datensicherheit ermöglichen. Insgesamt ist PROMETRIX 2138 XP ein unglaublich leistungsfähiges und zuverlässiges Masken- und Wafer-Inspektionsmodell, das feinste Halbleiterbauelemente mit beeindruckender Genauigkeit und Geschwindigkeit inspizieren soll. Mit seinen fortschrittlichen Sensoren, proprietären Algorithmen und dem sicheren Datenschutz ist dieses Gerät eine ausgezeichnete Wahl für jede Halbleitergießerei, die erstklassige Qualität und Zuverlässigkeit gewährleisten möchte.