Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX INS 3300 #9206058 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX INS 3300 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die für die fortschrittliche Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es ist ein hochauflösendes System, das eine anspruchsvolle optische Bildgebungseinheit mit einer fortschrittlichen Messtechnik kombiniert. Es ist in der Lage, Wafer-Ebene und sterben Ebene Inspektion, und kann eine breite Palette von Defekten auf einer Vielzahl von Substraten zu erkennen. Das optische Bildgebungswerkzeug besteht aus einer hochauflösenden CCD-Kamera und einer leistungsstarken spektralen Bildgebung. Die CCD-Kamera ermöglicht eine präzise Abbildung verschiedener Substrate wie Silizium, Metalle und Polymere. Das optische Abbildungsmodell kann eine Vielzahl von Defekten wie Kratzer, Kratzer, die von Trümmern, Partikeln und Linienbreitenabweichungen umgeben sind, erkennen. In der Messtechnik nutzt KLA INS 3300 eine automatisierte Punktquellen-Ausrichtung, um kritische Parameter wie Linienbreiten, Overlay und Empfindlichkeit genau und schnell zu messen. Dieses System kann auch für zerstörungsfreie Tiefenprofilmessungen, Permittivitätsmessungen und kritische Maßmessungen eingesetzt werden. Das Gerät ist auch mit einem erweiterten Softwarepaket ausgestattet, das eine automatisierte Inspektion von Wafer- und Stanzfehlern ermöglicht. Diese Software kann Fehler wie Linienbreitenvariationen, Partikel und Trümmer und Überlagerungsfehler erkennen. Es kann auch Überbrückungsfehler durch Linienkantenprofilierung und Seitenwandwinkelmessungen erkennen. Insgesamt ist TENCOR INS 3300 eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine, die für die moderne Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Die Kombination aus optischen Bildgebungs- und Messtechnik-Systemen bietet ein unvergleichliches Maß an Genauigkeit und Präzision für die Geräteprüfung. Darüber hinaus ermöglicht sein robustes Softwarepaket eine automatisierte Fehlererkennung, die die höchste Ausbeute aller Substrattypen gewährleistet.