Gebraucht KLA / TENCOR RS-200 #9157130 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9157130
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2016
Resistivity measurement system, 12"
2.8 GHz PC
Windows OS
Software Version: 4.30.01
GEM / SECS SECSII Interface
Auto loading
Floppy drive: 3.5"
H-Type probe head
(2) FOUP Position loading
220V AC, 50/60Hz, 20 A
2016 vintage.
KLA/TENCOR RS-200 Masken- und Wafer-Inspektionsgeräte sind ein anspruchsvolles, hochpräzises Werkzeug, das in der Halbleiterherstellung verwendet wird, um Fehler zu erkennen und die Qualität von Mikrochips sicherzustellen. Das System kombiniert fortschrittliche Optik und proprietäre Algorithmen, um kleine Funktionen auf extrem kleinen Wafern und Masken genau zu messen und zu analysieren. Zu den Hauptkomponenten des Geräts gehören ein Scanner, eine Bildverarbeitungsmaschine, eine Lichtquelle und eine kontinuierliche Leseunterstützung für Wafer und Pulse. Der Scanner ist für die Führung des Mikroskoparms zu den genauen Koordinaten jedes über den Wafer oder die Maske inspizierten Merkmals verantwortlich. Das bildgebende Tool verarbeitet die vom Scanner aufgenommenen Rohbilder mit hochentwickelten Algorithmen, die falsche Positive beseitigen und die Daten interpretieren. Schließlich sorgt die Lichtquelle für eine korrekte Beleuchtung des Wafers und der Maske. Dies ist besonders wichtig für die Betrachtung von feineren Eigenschaften, die sonst schwer zu erkennen wären. KLA RS-200 verfügt auch über eine leistungsstarke, aber einfach zu bedienende Schnittstelle, um Inspektionsparameter wie Scangeschwindigkeit, Industriestandards, Defektparameter, Fehlergröße, Geräuschpegel usw. zu steuern. Dies macht es den Betreibern einfach, das Asset an ihre spezifischen Anforderungen anzupassen, sodass sie schnell verschiedene Wafer und Masken mit minimalen Ausfallzeiten überprüfen können. TENCOR RS-200 verfügt über die höchste Auflösung, die derzeit auf dem Markt zur Erkennung von Defekten, zur Messung von Lücken und zur Überprüfung kritischer Dimensionen verfügbar ist. Es kann minutenlange Defekte bis zu 4 nm erkennen, was die höchste Produktionsqualität gewährleistet. Das Modell bietet außerdem eine große Schärfentiefe, die große visuelle Bereiche mit einem einzigen Bild abdeckt, sowie eine hohe Automatisierung, mit der Benutzer Dutzende von Wafern und Masken auf einen Schlag inspizieren können. Insgesamt ist RS-200 ein hervorragendes Werkzeug zum Scannen und Analysieren von Wafern und Masken mit hoher Genauigkeit und Präzision. Mit seiner fortschrittlichen Optik, den ausgeklügelten Algorithmen und der benutzerfreundlichen Schnittstelle bietet es Herstellern eine effiziente, zuverlässige und kostengünstige Lösung zur Inspektion von Mikrochips.
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