Gebraucht KLA / TENCOR SCD-XT #293766657 zu verkaufen

KLA/TENCOR SCD-XT ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die speziell entwickelt wurde, um die Qualitätskontrolle bei der Herstellung von elektronischen Geräten sicherzustellen. Es nutzt hochauflösende Messungen der kritischen Dimension (CD) und des Widerstandes, um Prozessanomalien für Masken- und Wafertechnologien zu erkennen. Das System kombiniert eine programmierbare Echtzeiteinheit (PRT) und automatische Inspektionssoftware. Die Maschine verfügt über ein PRT-Werkzeug mit einem 1,2-Nanometer-Auflösungsgeber, einer Präzisionsoptik und einer Inspektionsstufe, die automatisch Masken- und Wafertafeln zur Inspektion an den angegebenen Stellen positioniert. Dies wird mit einem zweidimensionalen Kopfpositionierelement erreicht, mit dem Quadranten zur genauen Positionierung und Orientierung des zu prüfenden Objekts abgebildet werden können. Darüber hinaus sorgt ein Laserdiodenbeleuchter für eine gleichmäßige Hintergrundbeleuchtung über die Bühne und sorgt für eine verbesserte Fehlererkennung. Das Modell nutzt fortschrittliche Multi-Sensor-Inspektionstechnologie und Datenerfassungsgeräte Software inspizieren die Maske und Wafer gleichzeitig und liefern detaillierte Berichte über die latente (unsichtbare) Fehlerstelle. Dieser Bericht hilft bei der Diagnose fehlerhafter Muster, die während der Verarbeitung versehentlich hinzugefügt oder verpasst wurden, was zu Produktfehlern oder anderen Problemen im Nachhinein führen könnte. Das Mask Inspection Tool und das Wafer Inspection Tool sind zwei der wichtigsten Funktionskomponenten von KLA SCD-XT Systemen. Das Maskenprüfungstool dient zur Erkennung von Defekten, zur Überwachung der Prozessstabilität und zur Identifizierung von Anomalien in Fotomasken. Es misst Luftspalte, Linienbreiten, Linienlängen und andere Merkmale auf der Maskenebene der Produktion. Das Wafer-Inspektionswerkzeug wird verwendet, um Widerstandsfehler wie obere Oberflächenlinie offen/kurze Hosen und hintere Oberfläche offen/kurze Hosen zu erkennen und zu lokalisieren. Es verwendet automatisierte Routinen, um Anomalien während der Verarbeitung zu erkennen, zusätzlich zu Richtlinien Verifizierung und statistische Analyse. Das Wafer Inspection Tool bestimmt auch die Polarität sowie die Anzahl der Drähte im Pad-Area-Muster mit flexiblen Drahtführungskonfigurationen. TENCOR SCD-XT System ist mit einer ausgeklügelten Benutzeroberfläche ausgestattet, um das Design und die Analyse der Testergebnisse zu erleichtern. Auf Daten kann über die erweiterte Datenprotokollierungsfunktion zugegriffen werden. Benutzerfreundliche Analysetools wie die Fehlerbibliothek und die Ertragsanalyse sind in das Gerät integriert und ermöglichen einen einfachen Zugriff und ein detailliertes Verständnis der Daten. Die SCD-XT-Maschine bietet eine hochgenaue, flexible und kostengünstige Lösung für die Masken- und Waferproduktion und stellt gleichzeitig eine Umgebung sicher, die Qualität, Zuverlässigkeit und Sicherheit betont. Es ist in der Lage, komplexe Probleme zu lösen, die sich auf die Gesamtproduktionsraten auswirken, und bietet die notwendigen Werkzeuge für die Qualitätskontrolle und Zuverlässigkeitsprüfung.