Gebraucht KLA / TENCOR SCD-XT #9220981 zu verkaufen

KLA / TENCOR SCD-XT
ID: 9220981
Wafergröße: 12"
Scatterometry machine, 12".
KLA/TENCOR SCD-XT ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die bildgebende und messtechnische Technologien zur Analyse von Halbleitermaterialien verwendet. Das System wurde entwickelt, um die Prozesssteuerung zu verbessern und die Zykluszeit zu reduzieren, indem genaue und wiederholbare Messdaten für Geometrien wie Kontaktbreiten, über Größen und Überlagerungsgenauigkeit bereitgestellt werden. KLA SCD-XT ist eine fortschrittliche Inspektionseinheit, die eine Kombination aus bildgebenden und messtechnischen Technologien verwendet, um hochgenaue Ergebnisse zu liefern. Im Kern der Maschine befindet sich ein Feld-Emission-Rasterelektronenmikroskop (FE-SEM), das ein hochauflösendes Bild der Probenoberfläche liefert. Dieses Bild wird dann von der Messtechnik-Software analysiert, die mit einer Vielzahl von Algorithmen Geometriewerte wie Kontaktbreiten und über Größen berechnet. Das Tool bietet auch eine Reihe von bildgebenden Optionen, wie Laserinterferometrie und chromatische konfokale Mikroskopie, die einen weiteren Einblick in Struktur/Oberfläche Eigenschaften. TENCOR SCD-XT bietet auch eine Reihe von automatisierten Messwerkzeugen für weitere Genauigkeit bei der Messung von Geometrien. Diese Tools umfassen bildfähige Nähte und Maskenausrichtungen, Blind-Fitting-Overlay-Algorithmen und Prozessausbeute-Analysen, um falsche Fehler zu minimieren und Erträge zu optimieren. Diese Funktion ermöglicht es dem Benutzer, Prozessprobleme schnell und genau zu identifizieren und zu beheben, was eine verbesserte Geräteleistung und eine verkürzte Zykluszeit ermöglicht. SCD-XT bietet zudem eine intuitive und benutzerfreundliche Bedienoberfläche. Das Asset bietet mehrere benutzerfreundliche Funktionen wie erweiterte Bildanalysefunktionen, Automatisierung und Optimierung sowie eine große Bibliothek mit Standardrezepten. Darüber hinaus ist das Modell vollständig anpassbar und bietet eine Vielzahl von Plug-in-Optionen, um die Leistungsfähigkeit und Analysefunktionen der Ausrüstung zu erweitern und ist damit eine ideale Lösung für alle Ihre Inspektionsanforderungen. Abschließend ist KLA/TENCOR SCD-XT ein spezialisiertes Inspektionssystem, das die neuesten bildgebenden und messtechnischen Technologien kombiniert, um zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse zu liefern. Es bietet hochgenaue Messungen, automatisierte Messwerkzeuge, eine intuitive Benutzeroberfläche und eine Reihe von Anpassungsoptionen. Damit ist KLA SCD-XT eine ideale Wahl für jeden Anwender, der eine zuverlässige, genaue und kosteneffiziente Inspektionseinheit sucht.
Es liegen noch keine Bewertungen vor