Gebraucht KLA / TENCOR SCD-XT #9228108 zu verkaufen

KLA / TENCOR SCD-XT
ID: 9228108
Wafergröße: 12"
Scatterometry metrology tool, 12".
KLA/TENCOR SCD-XT ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die zur genauen und zuverlässigen Inspektion von Photomasken und Wafern bis zu einem Durchmesser von 450mm entwickelt wurde. Das System nutzt Brightfield Illumination, eine Kombination aus hellen und dunklen Lichtquellen und musterbasierter Beleuchtung, um Defekte so klein wie ein Zehntel eines Mikrons genau zu erkennen. Das Gerät kann Kantenplatzierungsfehler, Linienbreiten und Formfehler sowie eine Vielzahl anderer Fehlertypen an weder Masken noch Wafern erkennen. Es hat die Fähigkeit, bis zu acht verschiedene Arten von Defekten gleichzeitig zu erkennen. KLA SCD-XT Maschine besteht aus einem Inspektionskopf, der Helligkeitsfeldbeleuchtung und musterbasierte Beleuchtung bietet, und einer Reihe von optischen Komponenten und Signalverarbeitungselektronik. Das Werkzeug verfügt über eine hochauflösende CCD-Kamera, die optische Signale von Schichten und Mustern auf einer Maske oder einem Wafer erfasst. Die Kamera ist dann mit einer Bildverarbeitungseinheit verbunden, die die Signale zur Fehlererkennung verarbeitet. Inspektionsdaten werden in einer internen Datenbank gespeichert, und der Benutzer kann gespeicherte Inspektionsdaten per Knopfdruck zurückrufen. TENCOR SCD-XT verfügt über eine komplette Software-Suite, von grundlegenden Inspector Suiten bis hin zu robusten Vision Studio Suiten, die es Anwendern ermöglichen, Bilder auf jedem Modell in ihrer Fabrik zu überprüfen. SCD-XT verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, mit denen Benutzer die Geräte an die Bedürfnisse ihrer spezifischen Anwendung anpassen können. Das System ist mit Granit Stable Structure-Technologie, die vibrationsfreie Inspektion bietet. So können Anwender auch in einer Produktionsumgebung hochpräzise Inspektionen durchführen. Das Gerät bietet auch verschiedene räumliche Filtertechniken, mit denen Benutzer Bilddaten in Echtzeit analysieren können, sowie die Möglichkeit, einen zusätzlichen Detektorkopf für erweiterte Funktionen hinzuzufügen. Die Maschine KLA/TENCOR SCD-XT ist zuverlässig und einfach zu bedienen. Die intuitive Software-Oberfläche ermöglicht es dem Anwender, schnell zu navigieren und Inspektionen mit Leichtigkeit einzurichten. Das Tool ist auch sehr anpassbar, so dass Benutzer das Asset an ihre spezifischen Anforderungen anpassen und sogar zusätzliche Komponenten hinzufügen können, um die Funktionen des Modells zu erhöhen. Insgesamt ist KLA SCD-XT eine zuverlässige und leistungsstarke Ausrüstung, die Photomasken und Wafer bis zu einem Durchmesser von 450mm genau inspizieren kann. Das System nutzt Helligkeitsfeldbeleuchtung, musterbasierte Beleuchtung und eine Vielzahl anderer Funktionen, um Fehler so klein wie ein Zehntel eines Mikrons genau zu erkennen. Das Gerät ist auch sehr anpassbar und intuitiv zu bedienen, so dass Benutzer schnell und einfach Inspektionen einrichten und gespeicherte Daten zurückrufen können.
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