Gebraucht KLA / TENCOR SL3 #293824682 zu verkaufen
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KLA/TENCOR SL3 ist eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die es Prozessingenieuren, Ausrüstungslieferanten und fabless Halbleiterherstellungsprozessen ermöglicht, ihre Ertragsrate und Produktqualität zu verbessern. Das System wurde entwickelt, um Wafer in den kritischen Prozessschritten Lithographie und Ätzen zu inspizieren. Es verfügt über mehrere kritische Komponenten wie eine hochauflösende CCD-Kamera, eine einstellbare Druckstufe, eine motorisierte Z-Stufe, eine automatisierte Ausrichteinheit und eine Lichtquelle. Die hochauflösende CCD-Kamera ermöglicht es dem Benutzer, beide Seiten des Wafers gleichzeitig zu betrachten, was ein vollständiges Scanbild der Oberfläche bis auf 4 Mikrometer ergibt. Die einstellbare Druckstufe kann die für eine zuverlässige Bildgebung erforderliche Kompression genau aufrechterhalten, was genaue und wiederholbare Ergebnisse ermöglicht. Die motorisierte Z-Stufe sorgt für präzises und automatisiertes Wafer-Handling, das eine Inspektion mit minimalem menschlichen Eingriff ermöglicht. Die automatisierte Ausrichtmaschine sorgt für optimale Fokussierung und Ausrichtung, und das Beleuchtungswerkzeug sorgt für genaue Farbtreue. Mit einer Kombination aus Tools und Funktionen ermöglicht KLA SL3 Benutzern die schnelle und genaue Erkennung von Funktionsgröße und Fehlerposition über mehrere Prozessintegrationsebenen hinweg. Das Asset ermöglicht es Benutzern, Inspektionskriterien anzupassen und die Wafer-Eigenschaften im Handumdrehen zu bewerten, um die Prozesskontrolle zu verbessern. TENCOR SL3 ist ein fortschrittliches Wafer-Inspektionsmodell, das entwickelt wurde, um Produktivität, Genauigkeit und Ertrag zu maximieren. Es kombiniert überlegene Bildgebungsfunktionen, automatisierte Ausrichtung und erweiterte Funktionen, um eine benutzerfreundliche Plattform für die Halbleiterherstellung zu bieten. Dies ermöglicht eine hohe Geschwindigkeit, zuverlässige und genaue hochauflösende Inspektion von Wafern mit minimaler Bedieneraufmerksamkeit, so dass Benutzer ihre Prozesskontrolle und ihre Erträge steigern können.
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