Gebraucht KLA / TENCOR SL3 #293829418 zu verkaufen

KLA/TENCOR Starlight SL3 ist eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Es bietet hochauflösende Bildgebung, um Defekte und Kontaminationen von Maskenoberflächen sowie den Waferoberflächen selbst zu erkennen. Das System bietet auch erweiterte Bildgebungs- und Analysetools, um Fehler schnell zu finden und zu identifizieren. KLA Starlight SL3 verfügt über eine leistungsstarke optische Einheit mit erweiterter Wellenlängenauswahl und höherer numerischer Apertur, um eine bessere Bildqualität zu gewährleisten. Dazu gehört ein Dual-Axis-Scanner, der die Maskenoberfläche in zwei Winkeln scannt und abbildet, um eine genauere Fehlererkennung zu ermöglichen. Die Maschine umfasst auch mehrere fortgeschrittene Bildgebungstechniken wie Spotscannen, Zeilenscannen und Panorama-Framing, die sicherstellen, dass Wafer- und Maskenoberflächen bei größtmöglicher Vergrößerung genau überprüft werden. TENCOR Starlight SL3 verfügt über ein ausgeklügeltes Bildanalysetool zum Erkennen, Klassifizieren und Messen von Fehlern auf der Masken- und Waferoberfläche. Dazu gehört auch das Adaptive Defect Detection Asset (ADDS), das „lernen“ kann, Fehler an Masken- und Waferoberflächen zu identifizieren, die möglicherweise nicht leicht vom Menschen identifiziert werden können. Das Defect Review and Analysis Module (DRAM) ermöglicht die detaillierte Analyse von Defekten und Verunreinigungen und liefert Echtzeit-Feedback zu ihrem Standort, Art des Defekts, Größe, Form und Amplitude. Das Modell bietet auch eine automatische Fehlerklassifizierung, um den Bedarf an manueller Inspektion zu minimieren. Starlight SL3 bietet eine inspektorfreundliche Bedienung und eine leistungsstarke Bedienoberfläche. Es enthält mehrere Softwarepakete, die den Betreibern beim Einrichten, Konfigurieren und Steuern der Geräte helfen. Dazu gehören die Mask Editor Software, PC Inspection Software und Win Toolbox Software. Das System kann auch mit anderen Halbleiterherstellungsgeräten und Datenbanken integriert werden, um einen umfassenden Überblick über den Produktionsprozess zu erhalten. KLA/TENCOR Starlight SL3 ist für einen zuverlässigen und präzisen Betrieb mit geringem Platzbedarf ausgelegt. Die geringen Betriebskosten und der minimale Wartungsaufwand machen es zu einer idealen Wahl für viele Halbleiterherstellungsvorgänge. Das Gerät wurde entwickelt, um Herstellern eine schnelle und genaue Fehlererkennung an ihren kritischen Masken- und Waferoberflächen zu ermöglichen.