Gebraucht KLA / TENCOR SL301 #9251376 zu verkaufen

KLA/TENCOR SL301 ist eine hochmoderne Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die Halbleiterherstellung. Die Funktionen des Systems bieten Ingenieuren und Technikern umfassende messtechnische Fähigkeiten, um Prozesskontrolle und Qualitätssicherung sicherzustellen. Die KLA- SL301 umfasst eine 200 mm/300 mm große Inspektionskammer, in der Substrate wie Siliziumscheiben, Verbundhalbleiterscheiben, IC-Pakete und fortgeschrittene MEMS-Strukturen untergebracht sind. Das Gerät bietet eine Vielzahl von bildgebenden Optionen, die CCD, Fotolack und Low-und High-K-dielektrische Messungen umfassen. TENCOR SL301 Maschine betreibt proprietäre Software zur Echtzeit-Fehlererkennung und bietet Anwendern zahlreiche Werkzeuge zur Rekonstruktion der 3D-Form von Fehlern zur Bewertung der Oberflächenqualitäten. Die verschiedenen Prüfstufen umfassen die manuelle Substratbelastung über einen Roboterarm, die Merkmalsmessung und die Fehlerinspektion. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit verschiedenen Automatisierungsgeräten, wie einem Barcodeleser und einer Lichtfalle ausgestattet, um Substratschäden oder Verschmutzungen zu verhindern. SL301 ist mit einer automatisierten Fokussteuerung (AFC) ausgestattet, die eine korrekte Fokussierung während eines Scans gewährleistet. Es beherbergt auch ein verbessertes optisches Design, das eine kritische Fehlerauflösung gewährleistet. KLA/TENCOR SL301 asset verwendet auch eine hochauflösende telezentrische Linse, die in der Lage ist, verschiedene Merkmale an komplexen Strukturen zu überprüfen, ohne dass Retikel erforderlich sind. Darüber hinaus ist es kompatibel mit einer Vielzahl von bildgebenden Werkzeugen, wie einem MEMS elektrostatischen Spannfutter für verbesserte Leistung. Das Modell verfügt über eine intuitive benutzerfreundliche Benutzeroberfläche, mit der Benutzer die Geräte schnell und effizient überwachen, konfigurieren und analysieren können. Es verfügt auch über eine Reihe von Messmustern, die an die spezifischen Bedürfnisse des Benutzers angepasst werden können. Darüber hinaus verfügt das System über mehrere Fail-Safes, die die Ausrüstung und den Bediener vor möglichen Schäden schützen. Insgesamt ist KLA SL301 eine ideale Masken- und Wafer-Inspektionseinheit für jede Produktionsumgebung. Es bietet eine umfassende Suite von Bildgebungs-, Fehlererkennungs- und Prozesskontrollfunktionen, um Ingenieuren und Technikern eine präzise Fehlerauflösung und verbesserte Prozesskontrollfunktionen zu bieten. Schließlich macht seine intuitive Benutzeroberfläche die Maschine einfach zu bedienen für Bediener aller Fähigkeitsstufen.