Gebraucht KLA / TENCOR SL515 #9032013 zu verkaufen
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ID: 9032013
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Mask inspection system, 12"
2 LP, 1 CHM, 1 ARM/1 LP, 1 CHM , 1 Laser
(1) Loadport (Asyst)
Loadports carrier reader: RFID type
Robot: KLA design
Light source: Coherent laser, FRED, ASSY, HP 257nm (SHG of 514nm by the BBO crystal)
Function: Inspection mask surface's haze
Components:
Power condition (for UIC)
UM
Power condition (for UM)
RLS
UIC
Operation con
Operation con (SunBlade 2000)
IAS
KLA 95i
Operation con (printer)
Parts missing:
FRU, MODULE BEAM STAB, 5XX
FRU, MODULE DIFFUSER, 5XX
2007 vintage.
KLA/TENCOR SL515 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die für den Einsatz im Halbleiterherstellungsprozess entwickelt wurde. Dieses System verwendet hochauflösende Bildgebung und Messtechnik, um jede Maske und jeden Wafer bis in den Nanometermaßstab zu inspizieren. Mit seiner schnellen Akquisitionsrate reduziert KLA SL515 die Inspektionszeit und verbessert die Produktqualität. Die KLA- SL515high-resolution-Bildgebung erfolgt über eine digitale LED-Lichtquelle in Kombination mit einem 20-Zoll-Display. Das Display bietet eine klare Sicht auf die Masken und Wafer und ermöglicht eine einfache Erkennung von Defekten. Das Gerät verfügt auch über eine integrierte Messtechnik-Maschine, die die Größe, Form und Verteilung der Fehler misst. Diese Daten werden dann zum späteren Analysieren und Vergleichen in einer Datenbank gespeichert. Das Tool verfügt auch über automatisierte Fehlererkennung und Klassifizierungsalgorithmen, die Fehler schnell und genau identifizieren können. Diese Funktion spart Zeit und Geld durch die Beseitigung der menschlichen Inspektion. Der Vermögenswert kann auch Prozesskontrollprobleme identifizieren, die zu kostspieligen Nacharbeiten und Produktionsverzögerungen führen können. TENCOR SL 515 ist eine ideale Lösung für die Masken- und Waferinspektion, da es schnelle, zuverlässige Daten und eine ausgezeichnete Auflösung liefert. Dieses Modell erfüllt die hohen Anforderungen des Halbleiterherstellungsprozesses und stellt sicher, dass die an den Kunden gelieferten Produkte von höchster Qualität sind. Die automatisierten Fehlererkennungs- und Klassifizierungsalgorithmen sparen zudem Zeit und Geld, indem kostspielige manuelle Inspektionen entfallen.
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