Gebraucht KLA / TENCOR SP 200 #293608654 zu verkaufen
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KLA/TENCOR SP 200 Masken- und Wafer-Inspektionsgeräte sind ein hochautomatisches Mehrzwecksystem zur Erkennung von Defekten in IC-Masken und Wafern. Das Gerät dient zur Inspektion, Überprüfung und Sortierung von Masken und Wafern auf verschiedenen Ebenen, vom grundlegenden Wafer-Scan, zur Überprüfung, zur Fehleranalyse. Die Maschine KLA SP 200 nutzt eine anpassbare Softwareplattform, die auf die spezifischen Anforderungen jeder Anwendung zugeschnitten werden kann. Das Tool verfügt über eine einzigartige, hochauflösende Bildgebungsfähigkeit, die die Erkennung von Defekten bis zu 5 Nanometer ermöglicht. Es enthält auch einen Dual-Strahl-Laser, eine hochpräzise Bildverarbeitung und einen berührungslosen Abtastkopf zur präzisen Maskenausrichtung und zur genauen, zuverlässigen Erkennung von Außer-Toleranz-Chips. Das Asset kann für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden, einschließlich Die-to-Die und Die-to-Wafer Vergleichsinspektionen; Finden von geknickten und überbrückenden Drähten; Schätzung der Ausbeute und Diagnose von Chipfehlern, Leckagen und kurzen Hosen. Das Modell kann verwendet werden, um die Prozesssteuerung zu verbessern und den Durchsatz zu erhöhen. Die Geräte verfügen über integrierte Supportsoftware und Hardwarekomponenten. Die Software beinhaltet Datenerfassung und Fehlerüberprüfung. Es kann eine Reihe von Defekten erkennen, einschließlich Fehlstellungen, Neigungseffekte, Überbrückung, Kneifen, kurze Hosen, fehlgebildete Treuhänder, fehlerhaft ausgerichtete Treuhänder, fehlende Elemente, zufällige Defekte, Chipschäden und Ungleichmäßigkeiten bei der Registrierung von Masken oder Wafern oder Formgrößen. Es umfasst auch Datenbankzugriff für Produktspezifikationen, eine Vielzahl von automatischen Programmier- und Simulationstools sowie Software zur statistischen Analyse. Die Systemarchitektur umfasst auch die automatisierte Rearbeits- und Datenanalysefähigkeit. Die Hardwarekomponenten bestehen aus einem Doppelstrahllaser in einem wafer-/maskenspezifischen mechanisierten Scanner. Dies ermöglicht eine schnelle und genaue Ausrichtung und Abtastung der Masken und Wafer. TENCOR SP 200 Einheit bietet auch eine Vielzahl von Werkzeugen zur Verbesserung der Maschinenleistung, einschließlich Bildverarbeitung und Feature Enhancement Tools, sowie Mustererkennungs-Tool, Farbbildauswertung und erweiterte Algorithmen für Template Matching. Mit seiner leistungsstarken Bildgebung und zuverlässigen Fehlererkennung bietet SP 200 asset ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis und ist eine ausgezeichnete Wahl für die Inspektion und Fehleranalyse von Masken und Wafern.
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