Gebraucht KLA / TENCOR SP1 Classic #169068 zu verkaufen

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ID: 169068
Wafergröße: 8" - 12"
Weinlese: 1998
Wafer surface analysis system, 8" and 12" Specifications: Wafer size: 8" open cassette and 12" FOUP configuration Provides sensitivity, repeatability, surface quality measurements and throughput capabilities required for 0.18µm technologies 0.08um Defect Sensitivity on Well-Polished Silicon 95% Capture Defect Map & Histogram with Zoom Micro View Measurement Capability Up to 150 Wafers Per Hour throughput on 200mm Wafers Illumination Source: 30 mW Argon-Ion Laser, 488nm Wavelength Version 3.8 Software Operator Interface: MS Windows NT 4.0 OS TFT Flat Panel Display Parallel Printer Port Operations Manual for KLA SP1 Classic 1998 vintage.
KLA/TENCOR SP1 Classic ist eine vollautomatische Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die einen höheren Durchsatz, eine höhere Ausbeute und eine verbesserte Fehlererkennung liefert. Das System verfügt über einen fortschrittlichen Detektor, eine Optik und ausgefeilte Algorithmen, die es ermöglichen, hohe Leistungen zu erzielen. Jedes Gerät wird mit Zubehör wie einer IR-Kamera und einer LED-Lichtquelle mit einem Zoomobjektiv geliefert, das für verschiedene Spezifikationen konfiguriert werden kann. KLA SP1 Classic enthält einen hochauflösenden CCD-Sensor mit integriertem Quad-Layer-Farbfilter. Auf diese Weise kann die Maschine sowohl vertikale als auch horizontale Defekte erkennen sowie den genauen Ort von Defekten mit höchster Genauigkeit erkennen. Es verfügt auch über ein Hochgeschwindigkeits-Autofokus-Tool, mit dem das Asset selbst die geringste Abweichung vom erforderlichen Muster oder der erforderlichen Spezifikation erkennen kann. TENCOR SP 1 CLASSIC hat mehrere verschiedene Benutzermodi, einschließlich manueller und interaktiver Modi, damit Benutzer verschiedene Arten von Fehlertypen analysieren und überprüfen können. Das Modell enthält auch eine Bibliothek mit vordefinierten Analyseroutinen, einschließlich hochwertiger Fehlererkennungsroutinen, mit denen Maskenfehler-Wafer schnell ausgewertet und analysiert werden können. SP1 Classic ist für den Betrieb in einer staubfreien Umgebung konzipiert und verfügt über eine kleine Stellfläche, die es ermöglicht, in enge Räume zu passen. Es ist mit einem integrierten Thermal Focusing Equipment (TFS) ausgestattet, mit dem das System den Fokus automatisch anpassen und die Bildqualität konsistent halten kann. Das Gerät enthält auch eine verbesserte Bildverarbeitungsmaschine (Enhanced Imaging Machine, EIS), die die Auflösung und Genauigkeit des Bildes deutlich erhöht. Das Werkzeug ist hocheffizient und zuverlässig, mit einem niedrigen Preis pro Wafer und geringen Ausfallzeiten. Der automatisierte Fehlerüberprüfungsprozess ermöglicht es Benutzern, Maskenfehler schnell zu überprüfen und abzulehnen, wodurch sichergestellt wird, dass sie nicht in die Fertigungslinie gelangen. KLA/TENCOR SP 1 CLASSIC bietet auch umfassende Rückverfolgbarkeit, so dass Benutzer Wafer- und Maskendaten verfolgen können, um detaillierte Aufzeichnungen über durchgeführte Tests und festgestellte Fehler bereitzustellen. Insgesamt ist KLA SP 1 CLASSIC eine ausgezeichnete Masken- und Wafer-Inspektion, auf die man sich verlassen kann, um Ertrag und Qualität in einer Produktionsumgebung zu steigern. Mit seinem fortschrittlichen Detektor und seiner Optik, ausgeklügelten Algorithmen und automatisierten Prozessen bietet das Modell eine kostengünstige und zuverlässige Lösung für Wafer-Tests und -Inspektionen.
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