Gebraucht KLA / TENCOR SP1 Classic #293594484 zu verkaufen
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KLA/TENCOR SP1 Classic ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die Halbleiterindustrie. Es ist eine vollautomatische Inspektionsplattform, die fortschrittliche bildgebende und optische Messtechnik verwendet, um Photomasken und Wafer auf Fehler zu untersuchen. Das System verwendet zwei unabhängige Kanäle, die eine gleichzeitige Wafer- und Maskeninspektion ermöglichen und einen wesentlich schnelleren Inspektionsprozess ermöglichen. KLA SP1 Classic verfügt über eine fortschrittliche Bildverarbeitungseinheit, die eine hochauflösende digitale CCD-Kamera und fortschrittliche optische Techniken verwendet, um sowohl den Wafer als auch die Maske abzubilden. Die Maschine wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Defekten zu erkennen, die von fehlenden Werkzeugen, Prozessfehlern und Pinholes bis hin zu schärferen Funktionen wie Linienbreiten und Näherungseffekten reichen. Das bildgebende Tool wird mit fortschrittlicher Analysesoftware kombiniert, um Fehler zu identifizieren und zu klassifizieren. Die Software kann auch komplexe Muster und Formen erkennen, um schwieriger zu erkennende KEs zu identifizieren. Die Anlage ist mit mehreren automatisierten Stufen der Probenhandhabung ausgestattet, einschließlich eines proprietären elektrischen Mapping-Modells, das elektrische Fehler erkennen kann. Die Anlage umfasst außerdem ein Fördersystem für die automatische Probenhandhabung und Beladung sowie eine umfassende Wafertransporteinheit für die schnelle Waferinspektion. Die integrierte Bewegungssteuerungsmaschine ermöglicht präzise, wiederholbare Bewegungen sowohl der Kamera als auch der Probenstufe, was eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. Die Benutzeroberfläche wird durch eine intuitive grafische Umgebung bereitgestellt, die eine einfache Kontrolle über Werkzeugparameter und -funktionen sowie den Zugriff auf detaillierte Asset-Informationen und -Berichte ermöglicht. Darüber hinaus bietet KLA Remote Service Remote-Support und -Diagnose für ein optimiertes Benutzererlebnis. Das Modell ist in der Lage, über 100.000 Wafer pro Stunde zu inspizieren, was es zu einem leistungsstarken und zuverlässigen Werkzeug für die Inspektion einer breiten Palette von Defekten macht. Das Gerät ist auch so konzipiert, dass es einfach in bestehende Halbleiterprozesse integriert werden kann und somit eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen ist. TENCOR SP 1 CLASSIC ist die perfekte Wahl für jede Aufgabe, die schnelle, genaue und zuverlässige Inspektion von Wafern und Masken erfordert.
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