Gebraucht KLA / TENCOR SP1 Classic #9262584 zu verkaufen

ID: 9262584
Wafer surface analysis system Does not include loader.
KLA/TENCOR SP1 Classic Maske und Wafer Inspektion Ausrüstung ist ein Hochleistungs-integriertes System, das überlegene Muster und Defekt Inspektion Fähigkeiten für fortgeschrittene Halbleiter und Lithographie Prozesse bietet. Es wurde entwickelt, um den spezifischen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden und bietet eine genaue und zuverlässige Inspektion von Masken und Wafern für eine Vielzahl von Parametern, einschließlich der Messung kritischer Dimensionen (CD), der Positionierung von Überlagerungen und der Fehlerinspektion. KLA SP1 Classic verfügt über KLA einzigartige QuadraVista™ Bildverarbeitungstechnologie, die patentierte Algorithmen verwendet, um ultra-hohe Genauigkeit und Auflösung bei der Fehlererkennung zu liefern. QuadraVista bietet überlegenen Bildkontrast und Rauschreduzierung und gewährleistet eine hervorragende Empfindlichkeit und Zuverlässigkeit bei der Erkennung von Fehlern. Mit ausgeklügelter Automatisierung und Benutzerfreundlichkeit reduziert TENCOR SP 1 CLASSIC die Datenverarbeitungszeit und die manuelle Bedienerinteraktion. SP1 Classic ist mit einem hochauflösenden linearen FOV-Detektor (Field-of-View) ausgestattet und verwendet die Double-Pass-Fokustechnologie, um optische Eigenschaften und Overlay-Leistung genau zu messen. Die Fehlerinspektion kann in einer Vielzahl von Modi durchgeführt werden, einschließlich Luftdefokus, Blendendefokus und bildbasierte Inspektion. Das Gerät verfügt auch über automatische Fehlerklassifizierungsalgorithmen, die subtile Fehlermerkmale wie lokale Kante und Geradheit genau und schnell identifizieren können. TENCOR SP1 Classic wurde entwickelt, um eine schnelle automatisierte Kalibrierung und Messung kritischer Abmessungen (CDs) zu ermöglichen. Mit einer hochpräzisen Stufe und laserbasierten Streutechniken ist es in der Lage, CDs mit Toleranzen bis zu 0,2 Mikrometer zu messen. Die Maschine verfügt außerdem über Automatisierungssteuerung und Fehlerüberwachung, die einen effizienten und fehlerfreien Werkzeugbetrieb ermöglichen. KLA SP 1 CLASSIC wird von einem Linux™ Betriebsmittel und einem Intel® Prozessor angetrieben und bietet einen zuverlässigen und effizienten Betrieb. Seine modulare Architektur macht es hochgradig aufrüstbar, so dass es mit den sich ändernden Anforderungen der Halbleiterindustrie Schritt halten kann. Darüber hinaus ist das Modell mit einer Vielzahl von Optionen verfügbar, darunter eine erweiterte DUV-Beleuchtungsquelle, Mehrkopf-Inspektionsfunktionen und eine globale Konfiguration. SP 1 CLASSIC ist eine ausgezeichnete Wahl für fortgeschrittene Halbleitermesstechnik-Anwendungen. Es bietet hervorragende Bildverarbeitungsfunktionen, hochpräzises Profilieren und schnelle Waferinspektion und ist somit ideal für Anwendungen in der Hochgeschwindigkeitsproduktion und Messtechnik.
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