Gebraucht KLA / TENCOR SP1-DLS #9012561 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9012561
Weinlese: 2006
Particle measurement
(4) Components:
Robot handler and loadport unit
Inspection chamber unit
Operator user interface
Blower
Stored in (3) Crates:
1st crate - Robot handler and loadports
2nd crate - Inspection chamber unit
3rd crate - Blower and misc. parts/cable/cover/brackets
Deinstalled Q4 2012
Laser has low power errors
Small crack in loadport advance plate cover
Currently in storage
2006 vintage.
KLA/TENCOR SP1-DLS ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die für den Einsatz in der Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Es ist ein vollautomatisches System, das fortschrittliche Optik und Bildverarbeitungsalgorithmen verwendet, um hochpräzise Muster auf Mikrochips und Substraten genau zu überprüfen, um kleine Fehler zu erkennen. KLA SP1 DLS wurde entwickelt, um maximale Leistung mit maximaler Ausbeute zu bieten, da es sowohl Rasterelektronenmikroskopie (SEM) als auch fokussierte Ionenstrahl (FIB) bildgebende Techniken verwendet. Das Gerät ist in der Lage, Fehler mit einer Auflösung von wenigen Nanometern zu erkennen und zu klassifizieren, wodurch die Hersteller von Komponenten kostspielige manuelle Inspektionen reduzieren oder beseitigen können. TENCOR SP 1-DLS ist mit modernsten Autofokus-Funktionen ausgestattet, die Echtzeiteinstellungen für optimale Betrachtungswinkel ermöglichen. Darüber hinaus bietet die Maschine eine breite Palette von Kontrast- und Helligkeitseinstellwerkzeugen für verbesserte Datengenauigkeit. TENCOR SP1-DLS ist so konzipiert, dass es vollständig in den Herstellungsprozess integriert ist und einen schnellen und zuverlässigen Inspektionsprozess bietet. Das Tool ist in der Lage, mehrere Chips gleichzeitig mit einem einzigen Scan zu überprüfen, was einen erhöhten Durchsatz und reduzierte Zykluszeiten ermöglicht. Darüber hinaus bietet das Asset erweiterte Fehleranalyse- und Berichtsfunktionen und ermöglicht schnellere Korrekturmaßnahmen bei der Fehlererkennung. Um höchste Qualitätskontrolle zu gewährleisten, ist KLA/TENCOR SP 1-DLS mit modernen Datenmanagement- und Kommunikationsmöglichkeiten ausgestattet. Das Modell kann einfach konfiguriert werden, um Echtzeit-Prozesssteuerung und Rückmeldung an die Produktionslinie bereitzustellen. Es kann auch in gängige Fertigungsdatenbanken integriert werden und kann sogar mit verschiedenen Arten von statistischen Prozessleitsystemen verknüpft werden, um Erträge zu optimieren und Produktausfallraten zu verringern. Insgesamt ist TENCOR SP 1 DLS eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die überlegene Genauigkeit, Durchsatz und Datengenauigkeit in einem einfach zu integrierenden, automatisierten System bietet. Die modernsten Funktionen und Integrationsmöglichkeiten machen es für eine Vielzahl von Halbleiterverarbeitungsanwendungen geeignet und helfen Bauteilherstellern, verbesserte Produktionserträge und Kosteneinsparungen zu erzielen.
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