Gebraucht KLA / TENCOR SP1-DLS #9016572 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9016572
Particle inspector
Supply connections: 200-240 VAC, 4 wire (3W+PE)
Input current: 30 A, 3 phase, 50/60 Hz
Main breaker rating: 40 A, 14k AIC @ 480 V
Largest load: 26 A (laser)
2002 vintage.
KLA/TENCOR SP1-DLS ist eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die entwickelt wurde, um Fehler über mehrere Prozessschritte und Disziplinen hinweg zu untersuchen. Es verfügt über die neuesten fortgeschrittenen Bildgebungs- und Inspektionstechnologien, um verschiedene Arten von Defekten schnell und genau zu erkennen und zu identifizieren. KLA SP1 DLS-System ist der Industriestandard in der Masken- und Waferinspektion sowohl für die Produktion als auch für Laborumgebungen und wird von vielen der weltweit größten Chiphersteller und Gießereien verwendet. Diese automatisierte Einheit ist in der Lage, eine Vielzahl von Masken und Wafern auf einer einzigen Plattform zu überprüfen, ohne dass Werkzeuge oder Einstellungen geändert werden müssen. Es verfügt über einen modularen Inspektionsbereich, der für oben, unten oder zwischendurch angepasst werden kann und eine Auflösung von bis zu ~ 2,5 μ m erreicht. TENCOR SP 1-DLS verwendet modernste Inspektionsalgorithmen und adaptive optische Technologien, um sich an verschiedene Produkttypen anzupassen und eine Reihe von Fehlern zu identifizieren, einschließlich Defekten wie Musterverschiebung, Strichkantenrauhigkeit und Bildkontrast. Darüber hinaus unterstützt die Maschine eine umfassende Produktanalyse mit Visualisierungstools wie Falschfarben-3D-Overlays, Konturanalysen und Grafikdarstellungen im Querschnitt. Mit der Software können Benutzer die Fehlerergebnisse über mehrere Produkte oder Prozesse hinweg in demselben Datensatz überprüfen, um Trends zu identifizieren und Auswirkungen zu erzielen. Die hochpräzise Vision unterstützt Kalibrierung auf dem Werkzeug gewährleistet genaue Wiederholbarkeit im Laufe der Zeit, indem Live-Kamera Anpassungen nach Bedarf. Darüber hinaus vereinfacht das automatisierte Machine Learning Toolkit KLA SEMVision die Fehlercharakterisierung weiter, indem es branchenführende Klassifizierungsgenauigkeit bei schnelleren Trainingszeiten bietet. Das integrierte Reporting-Asset hilft dabei, Fehlerinformationen und die Leistung des Modells auf verschiedenen Produkten einfach zu verfolgen. Insgesamt ist die SP 1-DLS Ausrüstung die perfekte Wahl für eine zuverlässige und präzise Masken- und Waferinspektion. Es wurde entwickelt, um die höchste Masken- und Waferqualität zu erhalten und gleichzeitig die Inspektionskosten zu senken. Es bietet Anwendern die Möglichkeit, eine Vielzahl von Fehlern genau zu identifizieren, was eine bessere Prozesskontrolle und Transparenz über den gesamten Prozess hinweg ermöglicht.
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