Gebraucht KLA / TENCOR SP1-DLS #9181648 zu verkaufen

KLA/TENCOR SP1-DLS ist eine fortschrittliche Masken- und Waferinspektionsanlage, die hochwertige Ergebnisse für Prozesskontrollanwendungen liefert. Es ist ein vollautomatisiertes, hochpräzises Robotersystem, das eine kostengünstige Analyse von Halbleiterscheiben zur Fehlererkennung ermöglicht. Das Gerät ist speziell auf Steuerbarkeit und Benutzerfreundlichkeit ausgelegt und somit die ideale Wahl für Wafer-Inspektionslabore und für die Waferanalyse zuständige Verfahrenstechniker. Die „KLA SP1 DLS“ steht für „Scanning Probe 1 - Defect Localization Machine“ und besteht aus folgenden Komponenten: SP1 Scanning Probe - Ausgestattet mit einem piezoelektrischen Scanner bewegt die SP1 Scanning Sonde den Wafer unter den ultrahochauflösenden Mikroskopen, um Defekte zu überprüfen. Es hat eine maximale Probenbewegungsgeschwindigkeit von 5 mm/s und ist in der Lage, kleine Defekte zu erkennen, die bis zu 0,6 μ m klein sind. Infrarot (IR) Detektor - Ein Infrarot (IR) Detektor wird verwendet, um schnell Defekte auf der Waferoberfläche zu erkennen. Es hat die Fähigkeit, mehrere Inspektionstechniken zu kombinieren, einschließlich Infrarotreflexion, Kontrastbildgebung, Kantenerkennung und Farbschichtung. CCD-Kamera (Charged-Coupled Device) - Eine hochauflösende CCD-Kamera kann hochauflösende Bilderfassungen von Fehlern mit einem 6-Zoll-Bereich aufnehmen. Die Kamera ist in der Lage, genaue Bilder und detaillierte Analyse von Defekten zur Verfügung zu stellen. Laser-Tool - Ein Laser-Asset wird verwendet, um die Rückseite eines Wafers zu überprüfen, um das Vorhandensein von Fehlern zu messen, die unter den Mikroskopen nicht sichtbar sind. Es verwendet fortschrittliche Lasererkennungs- und Analysealgorithmen, um winzige Fehler zu erkennen und zu messen. Image Capture Model - Eine Bildaufnahmeausrüstung wird verwendet, um die hochauflösenden Bilder zu speichern und zu analysieren, die von der CCD-Kamera aufgenommen werden. Die Bilder können mittels Software weiter analysiert und die Ergebnisse zur Bewertung und Optimierung des gesamten Herstellungsprozesses verwendet werden. TENCOR SP 1-DLS System ist für effiziente, zuverlässige und wiederholbare Waferinspektionsergebnisse konzipiert. Es ist mit fortschrittlicher optomechanischer, elektronischer und Softwaretechnologie ausgestattet, um Qualität und Ertrag zu maximieren. Das Gerät wurde entwickelt, um den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden und ist nach internationalen Standards zertifiziert. TENCOR SP 1 DLS Maschine ist sehr gut geeignet für agnostische, Halbleiterinspektion und Prozesskontrolle Anwendungen.