Gebraucht KLA / TENCOR SP1-DLS #9215544 zu verkaufen

KLA/TENCOR SP1-DLS ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die eine schnelle und zuverlässige Erkennung und Analyse von Defekten in Halbleiterscheiben und -masken ermöglicht. Das System basiert auf der erstklassigen, bewährten Bildgebungstechnologie KLA, um höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Diese automatisierte Einheit ist für die Produktion mit hohem Ertrag in anspruchsvollen, volumenstarken Umgebungen konzipiert und eignet sich für den Einsatz in Halbleiterfertigungsanlagen, integrierter Schaltung und elektronischer Materialprozessentwicklung sowie Online-Trepanning und Messtechnik. KLA SP1 DLS verwendet hochauflösende CCD-Kameraoptiken, um hochauflösende Vollbild-Bilder von Waferoberfläche und Maske zu erzeugen und dann Muster erwarteter Inhalte auf die aufgenommenen Bilder zu überlagern. Dies ermöglicht eine genauere und höchst zuverlässige Ermittlung und Charakterisierung von Fehlern. Die detaillierten Bilder können durch Hintergrundbeleuchtungs- und/oder Seitenbeleuchtungstechniken weiter verbessert werden und bieten eine höhere Bildtreue als herkömmliche fotografische Methoden. Die Maschine ist mit einer Vielzahl fortschrittlicher Algorithmen zur Fehlerklassifizierung und -diskriminierung ausgestattet, wie z. B. Rayleigh-Solomon und/oder Parametric Contouring mit Advanced Image Processing (PCAIP). Es verwendet auch eine Reihe von Fehlertypen und Muster zum Vergleich mit erwarteten Konturen. Diese Kombination von Algorithmen und Technologien ermöglicht eine höhere Empfindlichkeit und Genauigkeit der Fehlererkennung, was wiederum eine verbesserte Prozesssteuerung und die Entwicklung prädiktiver Prozessmodelle ermöglicht. TENCOR SP 1-DLS ist ein in sich geschlossenes Werkzeug, das eine minimale Installation oder Einrichtung erfordert. Legen Sie die Probe einfach in die flache Scankammer und das Asset kümmert sich um den Rest.Es ist mit einem Touchscreen-LCD-Display für eine einfache Bedienung ausgestattet und bietet eine Reihe von Softwareoptionen zur Datenerfassung, Analyse und Fehlerermittlung. Die große Scanfläche von bis zu 150 mmx 100 mm kann bis zu 5 Wafer gleichzeitig aufnehmen und die Bildrate ist von 40 bis 200 Bildern pro Sekunde einstellbar. Die KLA SP1-DLS wurde entwickelt, um den Durchsatz zu erhöhen und Kosten zu senken, indem sie einen höheren Durchsatz, eine schnellere Fehlererkennung und -charakterisierung sowie die Kompatibilität mit einer Vielzahl anderer Produkte in der Halbleiterindustrie bietet. Es reduziert auch das Risiko von Störungen und Störungen in Endprodukten. Darüber hinaus ist KLA/TENCOR SP1 DLS einfach zu bedienen, mit intuitiver und benutzerfreundlicher Bedienung und bietet eine umfassende Dokumentation, was zu kürzeren Bordzeiten und reduzierten Lernkurven führt.