Gebraucht KLA / TENCOR SP1-DLS #9226889 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9226889
Particle counter
Process: Surface scan
(2) Load ports with FOUP capable
RFID Type: Load ports carrier reader
Robot: ASYST
Blower
Light source:
Argon ion laser
Power: 30 mW
Wavelength: 488 nm
Resolution: 65 nm
Function:
(4) Dark field collections:
Normal wide
Normal narrow
Oblique wide
Oblique narrow
Special functions:
MAP to MAP
RTDC (Real time defect classification).
KLA/TENCOR SP1-DLS ist eine Maske & Wafer Inspektion Ausrüstung entwickelt, um überlegene Bildqualität und Genauigkeit zu bieten. Es nutzt fortschrittliche Optik-, Beleuchtungs- und Softwaretechnologien, um hoch detaillierte Fehlercharakterisierung, fortschrittliche Automatisierung und große Benutzerfreundlichkeit zu bieten. Das System verfügt über ein kundenspezifisches Detektordesign mit einer Auflösung von mehr als 6 Megapixel, das eine erhöhte Genauigkeit bei der Erkennung von Muster- und Verschmutzungsfehlern ermöglicht. Die Optikeinheit ermöglicht es mehreren Objektiven, verschiedene Sichtfelder und Vergrößerungen auszuwählen. Die Maschine verfügt über ein rekonfigurierbares Beleuchtungsmodul, das eingerichtet werden kann, um helle oder dunkle Bildkontraste zu erzeugen, je nachdem, welche Fehlerinformationen Benutzer im Bild überprüfen müssen. Das Licht ermöglicht die Inspektion komplexer Streuschichten und kann rasiermesserdünne Linien und Miniskule, auch versteckte Defekte, erkennen. Das Tool verfügt über eine ganze Reihe von proprietären Mess- und Fehlererkennungsalgorithmen. Die fortschrittliche Software enthält eine automatische Tuning-Funktion, die die Notwendigkeit von Algorithmus-Parameteranpassungen reduziert. Dadurch kann das Asset schnell und einfach eingerichtet werden, um Defekte bis zu einer Größe von sechs Nanometern automatisch zu erkennen und zu charakterisieren. Darüber hinaus ist die Algorithmus-Verarbeitungsgeschwindigkeit um ein Vielfaches schneller als frühere Generationen von Wafer-Inspektionssystemen und liefert schnelle und zuverlässige Ergebnisse zu einem wettbewerbsfähigeren Preis. Um genaue Prüfergebnisse zu gewährleisten, verfügt KLA SP1 DLS über ein validiertes, rückverfolgbares Kalibriermodell. Das Gerät verwendet unabhängige Referenzwafer, um nicht ideale Maschinenleistung oder Umweltveränderungen zu messen und zu korrigieren. Dadurch wird sichergestellt, dass die Neukonfiguration des Systems auf ein Minimum beschränkt bleibt und die Ergebnisse innerhalb bestimmter Prozessstandards liegen. Das Gerät verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI). Die GUI ermöglicht dem Anwender einen schnellen Zugriff auf alle Einrichtungsoptionen und relevanten Daten. Eine intuitive Auswahl an Tools und Reporting-Funktionen kann den Benutzer schnell zu den relevanten Daten führen. Zusammenfassend ist TENCOR SP 1-DLS eine zuverlässige und leistungsstarke Waferinspektionsmaschine, die überlegene Bildqualität, erhöhte Genauigkeit und einfache Einrichtung bietet. Mit kundenspezifischem Detektordesign, fortschrittlicher Optik und einer ganzen Reihe proprietärer Algorithmen können Benutzer sicher sein, dass das Tool genaue und effiziente Ergebnisse liefert.
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