Gebraucht KLA / TENCOR SP1-DLS #9232641 zu verkaufen

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ID: 9232641
Wafer inspection systems ASYST GEN3 Handler (Dual load ports), 12" Parts include: DLS Laser PMT Power supplies Spindle motor (Refurbished) BSC & Wave plate optical assemblies Optics assemblies.
KLA/TENCOR SP1-DLS ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die hochpräzise Fehlererkennung mit einem schnellen, automatisierten Workflow kombiniert. Es wurde entwickelt, um schnelle, genaue und zuverlässige Ergebnisse zu liefern, um die Produktionskosten zu senken und den Ertrag in der Halbleiterindustrie zu erhöhen. Das System nutzt die neueste Fehlerinspektionstechnologie, einschließlich fortschrittlicher Algorithmen und Hochgeschwindigkeitsbildverarbeitung. Dadurch kann das Gerät Fehler schnell, genau und zuverlässig erkennen, lokalisieren und klassifizieren. Die Maschine kann eine breite Palette von Hellfeld- und Dunkelfelddefekten erkennen, einschließlich kritischer Defekte, Lithographie-Hotspots und Prozessunregelmäßigkeiten. Darüber hinaus bietet das Tool die Flexibilität, einen Inspektionsauftrag mit verschiedenen Analysetechniken zu konfigurieren, einschließlich automatisierter Fokussierung, spektraler Bildgebung, Fokusfliesen für unebene Proben und kontrastbasierter Analyse. Dadurch wird sichergestellt, dass alle relevanten Mängel genau identifiziert werden. Die erweiterten Datenanalysefunktionen von KLA SP1 DLS ermöglichen es Benutzern, verdächtige Bereiche zu isolieren und zu identifizieren, sodass sie Probleme schnell diagnostizieren und beheben können. Die intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, Erkennungsparameter schnell und einfach anzupassen, ohne auf Genauigkeit zu verzichten. Darüber hinaus verfügt das Asset über ein integriertes statistisches Analysepaket, mit dem Benutzer Ergebnisse zwischen verschiedenen Wafern und Prozessschritten vergleichen können. Das Modell wurde entwickelt, um einen maximalen Durchsatz bei minimalen Ausfallzeiten zu gewährleisten. Das fortschrittliche Design der Ausrüstung bietet den höchsten Durchsatz für bestimmte Inspektionszeiten, und die Wafer werden in einem einzigen Schritt be- und entladen. Darüber hinaus ist das System mit einem Mehrschienen-Wafer-Handling ausgestattet, das eine gleichzeitige Beladung und Messung ermöglicht, was es zu einem idealen Werkzeug für Serienumgebungen macht. Insgesamt ist TENCOR SP 1-DLS eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine, die hochpräzise Fehlererkennung, flexible Analysetechniken und schnellen Durchsatz in einem einzigen Werkzeug bietet. Es wurde entwickelt, um zuverlässige Ergebnisse zu liefern und die Ausbeute in der Halbleiterherstellung zu verbessern.
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