Gebraucht KLA / TENCOR SP1-DLS #9267043 zu verkaufen

KLA/TENCOR SP1-DLS ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage, die sich für die anspruchsvollsten Anwendungen in der Halbleiterwaferherstellung und -technik eignet. Es ist ein umfassendes Inspektionssystem, das in der Lage ist, mehrere Fehler in einer Vielzahl von Anwendungen zu erkennen. Zu den Merkmalen gehören Mehrstrahl-Scannen für erhöhte Empfindlichkeit, hochauflösende Bildgebung zur Erkennung kleiner Fehler, 3D-Erkennung mit Schrägbeleuchtung zur Erkennung von Oberflächen- und Untergrundeigenschaften, Fehlerortungsfunktionen für schnelle Fehlerreparaturzykluszeit und hoher Durchsatz für die Verarbeitung mehrerer Wafer gleichzeitig. Das DLS-Gerät KLA SP1 bietet eine flexible, kostengünstige Lösung zur Inspektion fortschrittlicher Punkt-, Linien- und Flächenfehler. Es verfügt über eine große Feldansicht-Bildverarbeitungsmaschine für die großflächige Inspektion und kann Hellfeld, Dunkelfeld, Kantenerkennung, Kontrastverbesserung und 3D-Oberflächenmessungen von bis zu 310 mm (12,2 in) Wafern erfassen. Es verfügt auch über verschiedene Bildanalysefähigkeiten, um eine Vielzahl von Defekten zu erkennen, die bei der Halbleiterherstellung auftreten können. Darüber hinaus bietet das TENCOR SP 1-DLS Tool verschiedene Bildverfolgungsfunktionen, um Präzision und Genauigkeit beim Scannen zu gewährleisten. Die Anlage ist auch mit fortschrittlichen Beleuchtungsfähigkeiten ausgestattet, die eine Kombination aus schrägen und normalen Beleuchtungen mit verschiedenen Polarisationsschemata bieten, um sowohl Oberflächen- als auch Unterflächenfehler zu erkennen. Dies bietet dem Benutzer die Möglichkeit, mit herkömmlichen Inspektionstechniken schwer zu beobachtende Fehler zu erkennen sowie die Fehlerortungsgenauigkeit zu verbessern. KLA SP1-DLS Modell ist in der Lage, sich in jede Produktionsumgebung zu integrieren. Es verfügt auch über Echtzeit-statistische Prozesssteuerung (SPC) und Daten-Tagging-Funktionen für schnelle Entscheidungsfindung und Fehlermanagement. Das Gerät bietet eine Kombination aus robuster Software und Hardware, die leistungsstarke, aber flexible online einstellbare Fehlerschwellen und Inspektionsgeschwindigkeiten ermöglicht. Darüber hinaus ist das System für einfache Installation, Integration und Wartung konzipiert, was eine einfache Bedienung ermöglicht und eine hohe Durchsatzleistung unterstützt. Zusammenfassend ist TENCOR SP1 DLS eine umfassende Lösung für die Masken- und Waferinspektion, die eine zuverlässige, genaue und schnelle Erkennung von Anomalien und Defekten ermöglicht. Es ist eine kostengünstige und benutzerfreundliche Einheit, die für die anspruchsvollsten Inspektionsanwendungen in der Halbleiterindustrie geeignet ist.