Gebraucht KLA / TENCOR SP1 Surfscan DLS #9049199 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9049199
Particle measurement inspection system, 12"
Software Version: 4.200
Standard Specification:
Haze, Analysis & Normalization
MX4.2 SR03 Software Application
Desktop Software for first Article
Normal & Oblique Illumination
Opt, Enhcd Edge Exclusion 2mm
Puck Handling - 300/200mm
XY Coordinates
Hardware Configuration:
Microsoft WinXP5.1
E40/E87/E90/E94
E84 enabled for OHT & AGV/RGV
GEM/SECS (Comm Port)
GEM/SECS (HSMS)
ASYST AXYS-21 Robot
300mm Dual FIMS Bulkhead Asyst
Two AdvanTag SingleWire CID
4 Color Light Tower
Brightfield
2004 vintage.
KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLS ist eine hochgenaue, automatisierte Masken- und Waferinspektionsanlage. Dieses System bietet eine breite Palette von Werkzeugen zur Erkennung von Fehlern in Masken und Wafern bei der Herstellung integrierter Schaltungen. Es trägt zur Senkung der Kosten im Zusammenhang mit Neumaskierung, erneuter Inspektion und anderen Reparaturaufgaben vor der Produktfreigabe bei. KLA SP1 Surfscan DLS kann Fehler wie Dünnschichtdefekte, Oberflächentopographie-Merkmale wie die Messung von Peak-Valley-Höhen und andere Arten von strukturellen und elektrischen Defekten erkennen. Das Gerät verwendet ausgeklügelte Algorithmen, um Fehler an der Wafer- und Maskenoberfläche schnell und genau zu erkennen. Es unterstützt auch eine breite Palette von integrierten Schaltungsdesigns, so dass Benutzer Fehler in jedem Design schnell und zuverlässig erkennen können. TENCOR SP1 Surfscan DLS verfügt über eine hochauflösende CCD-Kamera zur Aufnahme von Fehlerbildern, eine hochwertige Beleuchtungsmaschine, die für die Aufnahme verschiedener Winkel und Höhen für maximale Genauigkeit konfiguriert werden kann, und eine automatisierte mechanische Stufe, die Maske und Wafer genau bei Bedarf bewegt. Es verfügt auch über mehrere automatisierte und semiautomatisierte Software-Tools wie E-Feld-Korrektur für Linienmusterreparatur und -analyse, automatisierte Werkzeuge für Oberflächenbildgebung und Fehlerbewertung und automatisierte Mustererkennung, unter anderem. Mit SP1 Surfscan DLS können Anwender leicht einen umfassenden Überblick über den Produktionsprozess erhalten, indem sie maßgeschneiderte Prozesskarten erstellen und Produktströme überlagern, um die Leistung verschiedener Produktionslinien zu überwachen. Das Tool unterstützt auch mehrere Wafer-Erkennungs- und Fehlerklassifizierungsmöglichkeiten, um sicherzustellen, dass jedes Produkt genau und zuverlässig getestet und überprüft wird. Durch den Einsatz von KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLS können Anwender potenzielle Probleme im Produktionsprozess erkennen, bevor sie ernsthaft werden, und somit Kosten im Zusammenhang mit Nachprüfung, Nacharbeit und Reparatur reduzieren. Abschließend ist KLA SP1 Surfscan DLS eine leistungsstarke, aber benutzerfreundliche Masken- und Wafer-Inspektion, die die Produktqualität und Zuverlässigkeit gewährleistet. Es verfügt über fortschrittliche Algorithmen und automatisierte Software-Tools, um Fehler schnell und genau zu erkennen, und anpassbare Prozesskarten und komplementäre Produktflüsse bieten Benutzern einen umfassenden Überblick über den Produktionsprozess. Seine benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht es Benutzern, Fehler in Masken und Wafern während der Produktion genau und effizient zu erkennen, wodurch Kosten gesenkt und die Produktqualität verbessert wird.
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