Gebraucht KLA / TENCOR SP1 Surfscan DLS #9262958 zu verkaufen

KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLS ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die für die Überprüfung von Scans und Fehlern nach der Entwicklung entwickelt wurde. Es ermöglicht eine vertrauenswürdige und zuverlässige Fehlererkennung auf Wafern mit seiner leistungsfähigen Kombination aus fortschrittlicher optischer Inspektion, robuster Datenintegrität und umfassenden Auswertungssteuerungsfunktionen. Der Surfscan DLS ist ein leistungsstarkes Werkzeug für die Halbleiterprüfung und -inspektion und bietet branchenführende Empfindlichkeit, Genauigkeit und Ertragsleistung. Das System kombiniert drei verschiedene Inspektionsstrategien: den Wafer-zu-Datenbank-Vergleich für die Flip-Chip-Produktion, den Ausgleich der Bewegung bei der Inspektion flacher Muster und den Musterinspektor für Maskenfehler. Die Musterinspektorkomponente bietet eine umfassende Anleitung, um Fehler mit den zuverlässigsten und genauesten Erkennungsalgorithmen zu erkennen. Darüber hinaus kann es Defekte sowohl bei der Herstellung als auch bei der Nachbearbeitung erkennen. Das Gerät verwendet einen erweiterten Algorithmus, um Fehler auf dem Wafer zu erkennen und zu klassifizieren. Es kombiniert Eigenschaften wie Größe, Form, Intensität und Kontrast, um jeden Fehler genau zu klassifizieren. Der Algorithmus unterstützt eine breite Palette von Fehlertypen, darunter offene/Kurzschlüsse, lineare und überbrückende Defekte, isolierte und gruppierte Defekte und Rückseitenfehler. Die Maschine bietet eine Vielzahl von Messfähigkeiten, die eine eingehende Analyse jedes Fehlers ermöglichen. Die fehlerspezifischen Informationen zu jedem Fehler können zur weiteren Analyse oder Überprüfung exportiert werden. Zusätzlich kann der Benutzer eine Reihe von fehlerbezogenen Parametern auswählen, um den Fehler effektiv zu analysieren. Eine farbcodierte Topographiekarte mit einstellbaren Rasterlinien ermöglicht eine einfache Analyse von Layoutfehlern. Schließlich ist der Surfscan DLS mit mehreren Funktionen ausgestattet, um eine zuverlässige Datenanalyse und einen verbesserten Workflow zu gewährleisten. Es unterstützt eine automatisierte proaktive Abweichungsmeldung und ein Fehlerverfolgungstool, das eine schnelle und effiziente Analyse und Replikation von Defektclustern ermöglicht. Darüber hinaus umfasst das Asset die vollständige Integration mit anderen UCK-Systemen, die die Integration mit Masken- und Photomasken-Inspektionswerkzeugen ermöglicht. Insgesamt ist KLA SP1 Surfscan DLS ein unschätzbares Werkzeug zur profitablen und effizienten Halbleiterinspektion. Es bietet leistungsstarke optische Inspektion, robuste Datenintegration und umfassende Auswertesteuerungsfunktionen, die eine optimale Fehlererkennung und Ertragsleistung bieten.