Gebraucht KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9082120 zu verkaufen

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ID: 9082120
Inspection system.
KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN ist ein modernes Masken- und Waferinspektionsgerät. Es verwendet eine fortschrittliche Zwei-Strahl-Inspektionstechnologie, die eine schnelle und zuverlässige Erkennung von Defekten in Mikrochips ermöglicht. Das System ist in der Lage, eine Vielzahl von Funktionen zu überprüfen, von Linienbreiten bis hin zu Abständen, Defekten, Kantenplatzierungsfehlern und anderen Arten von Unregelmäßigkeiten. Die Einheit KLA SP1-TBI SURFSCAN besteht aus drei Hauptkomponenten: einem optischen Leser, einer intelligenten optischen Detektionseinheit und einer Mustererkennungsmaschine. Der optische Leser besteht aus zwei ultraschnellen Laserstrahlen, die eine Weitfeldpunktmessung der Masken- oder Waferoberfläche ermöglichen. Der Detektor verwendet eine intelligente Sensoreinheit, um Informationen über die Merkmale des Wafers wie Linienbreiten, Abstand und Unregelmäßigkeiten zu sammeln. Es liefert auch präzise Ergebnisse, die für Messungen im 2- und 3-dimensionalen Raum geeignet sind. Die Mustererkennungsmaschine ist dafür verantwortlich, die vom optischen Leser und Detektor gesammelten Daten zu analysieren und anhand der gesammelten Informationen Entscheidungen zu treffen. Es kann eine Vielzahl von Aufgaben ausführen, wie das Identifizieren von Linienbreiten, das Überprüfen auf Kantenplatzierungsfehler und das Finden von aktuellen Shorts in der Schaltung. Darüber hinaus kann es neue, unsichtbare Mängel aus den bereitgestellten Masken- und Waferbildern erkennen. Insgesamt ist TENCOR SP1-TBI SURFSCAN eine leistungsstarke und zuverlässige Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine. Es wurde entwickelt, um schnelle Ergebnisse zu liefern sowie Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der Inspektion von Masken und Wafern für eine Vielzahl von Anwendungen zu garantieren. Mit seiner hohen Empfindlichkeit und Erkennbarkeit sorgt das Werkzeug dafür, dass Späne mit höchsten Qualitäts- und Zuverlässigkeitsstandards hergestellt werden.
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