Gebraucht KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9113669 zu verkaufen

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die sowohl physische als auch elektrische Defekte an gemusterten Masken und Wafern erkennt. Das System besteht aus einer hochauflösenden, optischen Abbildungseinheit, einer algorithmischen Fehlerüberprüfung und einer Softwaresteuerung. Die Maschine ist in der Lage, bis zu 200 Milliwatt einfallendes Licht abzubilden, um Fehler zu erkennen, die so klein wie 0,3 Mikrometer groß sind, und seltene Fehler zu erkennen, die sonst nicht sichtbar wären. Das Tool nutzt eine 20x Vergrößerung spektrale bildgebende Anlage und ein 10x Objektiv, um die höchste Auflösung Fehlerprüfung in seiner Klasse zu erhalten. Das Modell ist in der Lage, sowohl zufällige physikalische Defekte als auch elektrische Defekte zu erkennen, die die elektrische Leistung des Wafers oder der Maske beeinträchtigen können. Darüber hinaus ist die Ausrüstung in der Lage, alle Wafer-zu-Wafer und Wafer-zu-Maske-Registrierung Probleme zu erkennen, so dass die Betreiber schnell alle Probleme durch steilen Registrierungsprobleme zu beheben. Das System beinhaltet eine Vielzahl von proprietären Algorithmen, die schnell und präzise arbeiten, um sowohl physische als auch elektrische Fehler an gemusterten Masken und Wafern zu erkennen. Diese Algorithmen sind in der Lage, Fehler zu erkennen, die andernfalls bei einer Standard-optischen Abbildung nicht sichtbar sind. Die Algorithmen dienen zur Erkennung und Messung von Defekten sowohl für Maske-zu-Maske als auch für Wafer-zu-Wafer-Registrierung. Die Einheit KLA SP1-TBI SURFSCAN wurde entwickelt, um Kunden zu helfen, physische oder elektrische Fehler in einem Produktionsprozess schnell und genau zu identifizieren. Darüber hinaus ist die Maschine mit einer Vielzahl von Industriestandard-Inspektionsprogrammen kompatibel, sodass Kunden ihre bestehenden Systeme problemlos in die TENCOR SP1-TBI SURFSCAN-Plattform integrieren können. Das Tool wurde entwickelt, um Anwendern eine schnelle und zuverlässige Fehlerinspektion zu ermöglichen.