Gebraucht KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9217636 zu verkaufen

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN Maske & Wafer Inspektion Ausrüstung ist ein automatisiertes Werkzeug, das für Feature Level Defekt Inspektion von Wafern und Masken vor der Herstellung verwendet wird. Dieses System ist so konzipiert, dass es die Anforderungen der Halbleiterindustrie an die Fernprüfung erfüllt. Die Surfscan-Systeme verwenden ein modernes optisches Design und proprietäre Bildverarbeitungsalgorithmen, um alle Arten von Wafer- und Maskenfehlern auf Funktionsebene genau zu erkennen. Das optische Design der Surfscan-Einheit verwendet zwei Laser; eine für die Bildgebung und die andere für die Beleuchtung. Beide Laser erzeugen einen gleichmäßigen richtungspolarisierten Strahl, der dann durch eine Reihe von Optiken auf den Wafer bzw. die Maske gerichtet wird. Diese Anordnung ermöglicht einen vollen 360º Scan der Wafer- oder Maskenoberfläche und liefert ein detailliertes Bild von Defekten wie Kratzern, Partikeln und Gruben. Die proprietären Bildverarbeitungsalgorithmen der Surfscan-Maschine ermöglichen eine genaue Inspektion der Wafer- und Maskenoberflächen mit hohem Durchsatz. Die Algorithmen analysieren jedes Pixel des erzeugten Bildes mittels Kantendetektion und Subpixelbereichskontrastanalyse zur Differenzbildanalyse. Mit dieser Analyse werden Fehler mit hoher Genauigkeit identifiziert. Das Surfscan-Inspektionswerkzeug verfügt auch über automatische Fokussierung und Scherkompensation, die eine genaue Fehlererkennung für Proben ermöglichen, die sowohl nahe als auch weit entfernte Fehler enthalten. Es steht ein integriertes Wafer-Handling zur Verfügung, das das automatische und manuelle Be- und Entladen von Proben ermöglicht. Das Modell ist in der Lage, verschiedene Arten von Materialien zu überprüfen, einschließlich Silizium, Kohlenstoff, Nitrid, Oxid und Hafniumoxid. Es ist auch in der Lage, mit bis zu 15 Mikrometern zu scannen, so dass alle Arten von Defekten präzise erkannt werden können. Die Surfscan-Ausrüstung bietet ein hohes Maß an Zuverlässigkeit und Genauigkeit und eignet sich gut für eine Vielzahl gefährlicher Funktionen. Es ist auch ideal für Anwendungen, die kostengünstige, erweiterte Fehlerinspektionsmöglichkeiten erfordern.