Gebraucht KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9227710 zu verkaufen

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN ist eine fortschrittliche Masken- und Waferinspektionsanlage, die zur Erkennung und Erkennung von Defekten in integrierten Schaltungen verwendet wird. Es ist für die automatische Inspektion mehrerer Front-End-Bearbeitungsschritte konzipiert und bietet detaillierte Messungen der Masken- und Waferfunktionen, um eine kontinuierliche Ertragsverbesserung zu gewährleisten. Das System ist mit einem empfindlichen optischen Subsystem ausgestattet, das Submikron-Merkmale und -Fehler an Wafern und Masken erkennen und messen kann. Es ist entweder in 4-Pixel- oder 16-Pixel-Konfigurationen erhältlich, und beide verfügen über eine Top-Level-Dual-Energy White-Light-Field-Technologie, die eine Analyse von Dual-Reflektiv- und Transmissive-Mode-Bildern mit bis zu 90 nm Auflösung ermöglicht. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer patentierten Z-Stage Vacuum-Gap-Erfassungsstufe ausgestattet, die schnelle und genaue Messungen der Oberflächenmerkmale auf allen Substraten durchführt. Die UCK hat auch ihre TrueBright™ Image Enhancement-Technologie integriert, die die Empfindlichkeitsschwelle weiter reduziert und das Signal-Rausch-Verhältnis von erkannten Fehlern erhöht. KLA SP1-TBI SURFSCAN ermöglicht es Benutzern, Wafer- und Maskeninformationen mithilfe einer Vielzahl von Algorithmen schnell zu analysieren. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Defekten zu identifizieren, einschließlich Kratzer, Poren, Hohlräume, Partikel, Partikelwände, Linie-Rand-Rauheit, Oberflächenflecken und Gräben. Die erweiterten Fehlererkennungsalgorithmen können prozess- oder geometriebedingte Fehler bis zu 0.14um erkennen. Die Maschine bietet auch mehrere automatisierte und anpassbare Messfunktionen, einschließlich kritischer Dimensionsanalysen, Kartenrückverfolgbarkeit und Losanalyse. Darüber hinaus ist TENCOR SP1-TBI SURFSCAN so programmiert, dass Benutzer ihre bestehende Wafer-Tracking-Software nahtlos integrieren können. Das Tool enthält auch eine Reihe integrierter Tools zum Sammeln, Visualisieren und Analysieren von Ergebnissen. Es kann auch in automatisierten Produktionsumgebungen betrieben werden, was eine schnelle und flexible Leistungsbewertung und Fehler-/Parameteranalyse ermöglicht. Kurz gesagt, SP1-TBI SURFSCAN ist eine umfassende Masken- und Wafer-Inspektion, die genaue und zuverlässige Fehlererkennungs- und Messfähigkeiten bietet. Es bietet eine Reihe fortschrittlicher optischer und analytischer Funktionen und wurde entwickelt, um eine schnelle, ertragreiche und genaue Lösung für kontinuierliche Fehler- und Ertragsverbesserungen zu bieten.