Gebraucht KLA / TENCOR SP1-TBI #293823422 zu verkaufen
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KLA/TENCOR SP1-TBI wurde entwickelt, um große Sichtfeldinspektionen von Masken und Wafern zum Zwecke der Prozesssteuerung und -überwachung bereitzustellen. Das Gerät ist in der Lage, Daten aus ganzen Sektoren zu sammeln und bis zu 200 Stichprobenpunkte pro Sekunde zu inspizieren, wodurch subtile Mängel und Ungleichmäßigkeiten umfassend abgedeckt werden. KLA SP1T-BI basiert auf zwei Hauptfunktionalitäten: seinem bildgebenden System, das eine genaue Erkennung und Erkennung von Fehlerstellen ermöglicht; und seinem automatisierten Analysemodul, das die Ursache des Fehlers identifiziert und geeignete Korrekturmaßnahmen vorschlägt. Die fortschrittlichen Optik- und Bildgebungssysteme des Geräts verwenden ultraviolettes und sichtbares Licht, um Verunreinigungen und kleine Defekte zu erkennen, die mit bloßem Auge nicht gut sichtbar sind. TENCOR SP1 TBI enthält zwei Arten von Lichtern: UV-Laser, die verwendet werden, um Partikel so klein wie ein Zehntel eines Mikrometers zu detektieren, und weißes Licht zur Beleuchtung der Wafer und Masken für die Bildgebung. Die Detektoren der Maschine sind mit Detektorverstärkern ausgestattet, die eine höhere Genauigkeit und Empfindlichkeit bei der Fehlererkennung ermöglichen. Das automatisierte Analysemodul des Werkzeugs (AAM) ist ein leistungsfähiges Werkzeug zur Ermittlung der Ursache des Fehlers. Das AAM führt sowohl physikalische als auch chemische Analysen der Probe durch und erstellt einen Bericht mit den Ergebnissen beider. Durch die Verwendung des AAM können Anwender die Ursache eines Defekts an einer Maske oder einem Wafer schnell und genau beurteilen sowie eine geeignete Korrekturmaßnahme vornehmen. KLA/TENCOR SP1 TBI ist einfach zu bedienen und zu warten. Es verfügt über eine intuitive grafisch aktivierte Benutzeroberfläche, mit der Benutzer Scanparameter schnell einrichten und die Funktionen des Assets bedienen können. Das Modell ist so konzipiert, dass es einen minimalen Benutzereingriff erfordert und für den Einsatz in Serienanwendungen geeignet ist, bei denen die Prozesssteuerung und -überwachung entscheidend ist. TENCOR SP1-TBI ist eine robuste, zuverlässige und kostengünstige Ausrüstung für die Masken- und Waferinspektion. Seine fortschrittlichen Optik- und Bildgebungssysteme bieten eine schnelle Erkennung und Erkennung kleiner Defekte, und sein automatisiertes Analysemodul erkennt schnell die Ursache des Defekts und schlägt Korrekturmaßnahmen vor. Das System ist einfach zu bedienen und zu warten und ideal für den Einsatz in Serienanwendungen.
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