Gebraucht KLA / TENCOR SP1-TBI #9163053 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9163053
Wafergröße: 8"-12"
Weinlese: 2000
Unpatterned surface inspection system, 8"-12"
Handler type:
Automation-open cassette
Notch alignment
(1) Port, 8"-12"
Currently installed and stored in cleanroom
2000 vintage.
KLA/TENCOR SP1-TBI ist eine flexibel konfigurierte Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung für Hochleistungsanwendungen. Es basiert auf der bewährten SP1-Plattform und verwendet neue Technologien wie fortschrittliche Muster-Matching-Algorithmen, programmierbare Fokussieroptiken und eine CCD-Kamera mit einer Auflösung von 1600 x 4096. Das System ist sowohl kostengünstig als auch hochskalierbar, mit einem hohen Maß an Flexibilität für Anwender mit einer Reihe von Preis-Leistungs-Anforderungen. KLA SP1T-BI ist mit der neuesten Hochgeschwindigkeitsoptik und fortschrittlicher Beleuchtung ausgestattet, um den Anforderungen der neuesten Masken- und Waferinspektionsanwendungen, einschließlich 3D und Line/Space-Funktionen, gerecht zu werden. Die leistungsstarken Algorithmen zur Musteranpassung, Bildverarbeitung und Fehleranalyse helfen, genaue und zuverlässige Ergebnisse zu erzielen. Das Gerät verfügt über eine fortschrittliche automatische Fokus- und Belichtungssteuerung, die die Fokus- und Beleuchtungseinstellungen automatisch anpasst, um optimale Ergebnisse zu gewährleisten. TENCOR SP1 TBI ist für einen ultrahohen Inspektionsdurchsatz mit Hochgeschwindigkeits-Indexierung, Hochgeschwindigkeits-Bildgebung und Multi-Task-Funktionen konzipiert. Die Maschine ist mit einer vierachsigen, dreiachsigen Stufe ausgestattet, um mehrere Bereiche sowie komplexe geometrische Merkmale zu überprüfen. Durch seine Multi-Task-Funktion können Benutzer Jobs einrichten, die unbeaufsichtigt ausgeführt werden, während sie mit anderen Aufgaben beschäftigt sind. Neben seinen leistungsstarken Funktionen verfügt KLA SP1 TBI über eine benutzerfreundliche Oberfläche, die dem Bediener Orientierung bietet. Es enthält auch eine intuitive Benutzeroberfläche mit grafischen Eingabeaufforderungen für Prüfparameter und Datenprotokollierung. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit einer Vielzahl von Analysewerkzeugen ausgestattet, einschließlich Fehlergrößenmessungen und Kupfer-Glas-Kontrolle. Insgesamt ist SP 1-TBI eine zuverlässige und kostengünstige Wahl für hochpräzise Masken- und Waferinspektionsanwendungen. Seine High-Speed-Optik, fortschrittliche Algorithmen, intuitive Benutzeroberfläche und Flexibilität machen es zu einer idealen Lösung für Kunden, die nach einer kostengünstigen und hochskalierbaren Lösung suchen.
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