Gebraucht KLA / TENCOR SP1-TBI #9250876 zu verkaufen

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ID: 9250876
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2007
Unpatterned wafer inspection system, 8" 4-Station Open cassette type (Not SMIF) Operating system: Window NT 850 MB Includes: BROOKS Robot BROOKS Handler 2007 vintage.
KLA/TENCOR SP1-TBI ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die eine automatisierte Fehlererkennung bietet. Das System besteht aus einem optischen Kopf, der einen CCD-Bilddetektor enthält, der hochauflösende Bilder und Beugungsdaten von einem Wafer oder einer Maske erfasst. Die erfassten Daten werden dann mit spezialisierter Bildanalysesoftware analysiert, so dass Ingenieure den Wafer auf mögliche Fehler untersuchen können. KLA SP1T-BI Unit bietet den Betreibern eine benutzerfreundliche Benutzeroberfläche, so dass sie sich einfach navigieren und bedienen lassen. Die Maschine kann so programmiert werden, dass sie einen einzelnen Stempel, mehrere Stempel oder einen ganzen Wafer inspiziert. Es verfügt über einen leistungsstarken CCD-Detektor für hochauflösende Bildgebung, zusammen mit einer Reihe von Beleuchtungsoptionen, wie Dunkelfeld, Hellfeld, Konturbeleuchtung, Polarisatoren und Filter. Diese Funktionen ermöglichen die Analyse von KEs, die von nanoskaligen Größen bis hin zu Makroskalen reichen. TENCOR SP1 TBI berücksichtigt bei der Durchführung seiner Inspektionen alle Probenahmeelemente. Die automatisierte Fehlererkennungssoftware ermittelt, ob es sich bei einem potenziellen Defekt um ein zufälliges Partikel oder ein bestimmtes, prozessgeneriertes Feature, wie z.B. einen Hügel oder via handelt. Proben können für zukünftige Referenzen oder weitere detaillierte Analysen archiviert werden. KLA/TENCOR SP1 TBI verfügt zudem über ein optionales integriertes optisches Profilometer, das seine Fähigkeiten weiter verbessert. Das Profilometer ermöglicht erweiterte Topographie- und Formmessungen bei der Fehleranalyse und ermöglicht eine bessere Fehlerklassifizierung. Die integrierte Software für TENCOR SP 1 TBI bietet neben der stufenweisen Fehlerklassifizierung umfangreiche Einrichtungs- und Berichtsfunktionen. Diese Merkmale reduzieren den Zeitaufwand zur Überprüfung und Charakterisierung von Fehlern. Darüber hinaus ermöglichen verschiedene integrierte Berichtvorlagen eine schnelle und einfache Berichterstattung über Inspektionsergebnisse. KLA SP1 TBI bietet auch eine Reihe von fortschrittlichen Tools, wie CameraLink- und Ethernet-Kommunikation, und eine Vielzahl von interaktiven Tools. Diese reduzieren den Zeitaufwand für die Prüfung und Charakterisierung von Fehlern weiter. Zusammenfassend ist KLA/TENCOR SP 1-TBI ein zuverlässiges und effizientes Masken- und Wafer-Inspektionswerkzeug. Das Asset bietet Anwendern eine robuste Reihe von Funktionen, die eine hochauflösende Bildgebung und automatisierte Fehlererkennung ermöglichen. Das integrierte Profilometer verbessert seine Fähigkeiten weiter, mit fortschrittlichen Topographie- und Formmessungen, die eine bessere Fehlerklassifizierung ermöglichen. Die benutzerfreundliche Benutzeroberfläche und umfangreiche Reporting-Funktionen machen SP1T-BI zu einer ausgezeichneten Wahl für eine hochgenaue Masken- und Waferinspektion und Charakterisierung.
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