Gebraucht KLA / TENCOR SP1-TBI #9254918 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9254918
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Surface inspection system, 8"
2000 vintage.
KLA/TENCOR SP1-TBI ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die hochauflösende Bildgebung mit ausgeklügelten Mustererkennungsalgorithmen kombiniert, um Fehler auf Halbleiterscheiben und Retikeln zu erkennen. Es bietet einen unübertroffenen Durchsatz von 200 Wafern pro Stunde (WPH) mit einer Genauigkeit auf höchstem Niveau von 4 nm. Das System verwendet eine 0,75-1,0 µm hochauflösende Laserbildeinheit für Offline- und Online-Anwendungen. Es ist für die Fehlererkennung und Überprüfung konzipiert, so dass der Bediener große Bilddateien schnell mit Kollegen teilen kann, um die Zusammenarbeit zu verbessern. KLA SP1T-BI sorgt für eine konsistente und zuverlässige Fehlererkennung über eine Vielzahl von Funktionsgrößen. Die Wafer-Bildgebung verwendet einen Deep-UV-Laser oder eine herkömmliche Quelle, um sicherzustellen, dass Masken und andere Materialien ohne zusätzliche Optik oder Belichtungssysteme abgebildet werden. Die Maschine ist auch mit einer erweiterten Defektklassifizierung ausgestattet, die es Anwendern ermöglicht, ihre Überprüfung auf Interessenfehler zu konzentrieren und Routinefehler zu isolieren. Das Tool enthält dedizierte Musteranpassungssoftware zur Erkennung kritischer Defektfunktionen, einschließlich Nanostrukturen und Funktionen bis zu 4 nm, mit außergewöhnlicher Geschwindigkeit und hoher Genauigkeit. Der Muster-Matching-Algorithmus verwendet einen proprietären Satz von Vorlagen und Parametern, um eine Vielzahl von Fehlern mithilfe der differentiellen Kantenverbesserung zu identifizieren. TENCOR SP1 TBI bietet auch erweiterte Funktionen zur Fehlererkennung, Klassifizierung und Analyse. Dazu gehören automatisierte Fehlererfassung, quantitative Fehlermesstechnik, Datenvisualisierung und Reporting. Das Asset umfasst adaptive Datennachbearbeitungstools, die es Anwendern ermöglichen, die Inspektionsergebnisse zu verfeinern und Fehler schnell zu identifizieren, zu klassifizieren und zu melden. Die intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht es dem Bediener, das Modell für bestimmte Anwendungen anzupassen. Die benutzerfreundliche Touch-Panel-Oberfläche bietet Echtzeit-Feedback zur Geräteleistung, wodurch Sie die Einstellungen einfach anpassen und mögliche Probleme schnell diagnostizieren können. TENCOR SP 1 TBI bietet das fortschrittlichste Masken- und Wafer-Inspektionssystem der Branche. Das Gerät wurde für Serienproduktionslinien entwickelt und gewährleistet eine schnelle, präzise und genaue Fehlererkennung, um sicherzustellen, dass der Ertrag Ihrer Produktionslinie konstant hoch bleibt.
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