Gebraucht KLA / TENCOR SP1-TBI #9257857 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9257857
Wafergröße: 8"-12"
Weinlese: 2002
Wafer defect inspection system, 8"-12"
Automation-open cassette
Notch align
Port, 8"/12"
Includes:
Standard handling
Cassette station
Oblique illumination
Puck handling
Robot
Single paddle
No bright field
No backside option
No dual end effector
No SMIF
Laser installed
Operating system: Windows XP
2002 vintage.
KLA/TENCOR SP1-TBI, eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, ist ein automatisiertes Inspektionssystem zur Erkennung kritischer Mängel, um Wafer höchster Qualität für die Produktion zu liefern. Es wird verwendet, um gemusterte oder nicht gemusterte Gerätemasken, Wafer und Retikel auf Fehler zu überprüfen, so dass die Bewertung mit maximaler Genauigkeit und Effizienz durchgeführt werden kann. Das Gerät analysiert Bilder, ohne sich auf subjektive Beurteilungen zu verlassen, während seine hochauflösende Optik und seine hochgenauen algorithmischen Fehlererkennungsfunktionen in der Lage sind, Fehler über eine Vielzahl von Masken- und Wafertypen zu erkennen und zu klassifizieren. Die optische Maschine der KLA SP1T-BI nutzt ein großes Field-of-View (FOV) -Objektiv mit wiederholbarer Bildgebung, das in Kombination mit proprietären Algorithmen und Optik, die zur Verringerung von Flare und Gleichförmigkeitsfehlern entwickelt wurde, zuverlässige und wiederholbare Daten für jedes optische Feld erzeugt. Das Werkzeug verfügt außerdem über eine programmierbare Laserstreifenbeleuchtung, die für die Maskenbildgebung optimiert ist, die eine Auflösung von bis zu 0,45 μ m für Retikel und eine Auflösung von 0,28 μ m für Maskeninspektionen erreichen kann. Die Hardware umfasst außerdem einen Wafer-Griffsatz für den automatischen Waferaustausch, Infrarot-Bildgebungsfunktionen und einen programmierbaren Roboterarm, der sich von einer Asset-Position zur anderen bewegt, um das Laden und Entladen von Wafern und Masken zu erleichtern. Die leistungsstarke Vision Analyzer-Software, die alle Hardwarekomponenten und die fortschrittliche algorithmische Verarbeitung von Bildern integriert, ist mit künstlicher Intelligenz (KI) -fähiger intelligenter Fehlererkennungstechnologie ausgestattet und bietet eine genaue und robuste Bildanalyse, die die Erkennung von Oberflächen- und Unterflächendefekten vorantreibt. Darüber hinaus ist TENCOR SP1 TBI für Anwendungen mit hohem Durchsatz konzipiert, mit schneller Inspektion und Automatisierung. Dieses Modell inspiziert Hunderte von Teileprüfungen in kurzer Zeit und liefert präzise Ergebnisse mit hochauflösender Farbdarstellung. Es ermöglicht Benutzern, die Parameter der Ausrüstung, wie Pixelgröße, Lichtquelle, Belichtungszeit, Fehlergröße und mehr zu steuern, was die Genauigkeit der Inspektion weiter gewährleistet. Darüber hinaus verfügt das System über eine benutzerfreundliche Oberfläche für einfache Bedienung und Parametersteuerung. Abschließend ist TENCOR SP 1 TBI eine zuverlässige und leistungsstarke Einheit für die Masken- und Waferinspektion. Die Implementierung seiner Hardware und fortschrittlichen Vision Analyzer-Software bietet robuste Fehlererkennungsfunktionen sowie automatisierten Waferaustausch und hohe Durchsatzoptionen, um die hochwertigsten Wafer für die Produktion zu liefern.
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