Gebraucht KLA / TENCOR SP1-TBI #9266303 zu verkaufen

KLA/TENCOR SP1-TBI ist eine eigenständige, halbautomatische Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die Contact Image Sensors (CIS) verwendet, um Fehler im Zusammenhang mit der Masken- und Waferbearbeitung zu erkennen. Das System wurde entwickelt, um eine schnelle und genaue Erkennung von Defekten in verschiedenen Masken und Wafern sowie die Partikeldetektion von Submikron zu Millimetern durchzuführen. Die Einheit verfügt über eine berührungslose optische Fünf-Zoll-Stufe zum Be- und Entladen der Maske oder des Wafers. Nach dem Laden bewegt sich die Stufe in Bezug auf die CIS-Strahlen, um eine digitale Signaldarstellung der Masken- oder Waferoberfläche zu erzeugen. Die Hunderttausende von erzeugten Signalen werden Seite an Seite mit den ursprünglichen gescannten Daten verglichen, um Fehler zu erkennen. Die KLA SP1T-BI verfügt zudem über eine automatisierte Defektklassifizierungsmaschine, die Partikel, Kratzer und andere zufällige Defekte unterscheiden und entsprechend segmentieren kann. Darüber hinaus ist das Werkzeug in der Lage, Chip/über Fehler, Resist-Rückstände, Knoten und Drähte und Spuren zu erkennen. Die Genauigkeit und Geschwindigkeit der Anlage wird durch einen erweiterten Bildregistrierungsalgorithmus aufrechterhalten. Die Benutzererfahrung wird durch eine Vielzahl von Funktionen verbessert, die eine einfache Manipulation der physischen Probe ermöglichen. Das Modell bietet zwei Möglichkeiten zur Auswahl einer Region von Interesse (ROI): manuelle Auswahl und automatische Ausrichtung. Die manuelle Auswahl ermöglicht es Benutzern, eine beliebige Region von Interesse auszuwählen und den Inspektionsprozess zu starten; während der automatische Ausrichtungsmodus den ROI aus einem Referenzbild auswählt, das im Gerät vorab gespeichert ist. Bei jedem Masken- oder Waferinspektionsverfahren hängt die Qualität der Ergebnisse von der Gleichmäßigkeit der auf die Probe aufgebrachten Beleuchtung ab. TENCOR SP1 TBI verwendet einen einheitlichen programmierbaren Beleuchter, um ein gleichmäßiges Beleuchtungsfeld zu schaffen. Der Beleuchter ist programmierbar, um die dynamische Auswahl verschiedener Wellenlängen zu ermöglichen, wodurch eine Vielzahl von Probendefekten unabhängig behandelt werden können. Abschließend ist SP1 TBI ein effizientes und zuverlässiges System zur genauen, automatisierten Masken- und Waferinspektion. Das Gerät verfügt über einen Bilderfassungsalgorithmus zusammen mit einem einheitlichen programmierbaren Beleuchter sowie eine automatisierte Fehlerklassifizierungsmaschine, so dass es eine ideale Wahl für Anwendungen mit Hochdurchsatzmaske und Waferinspektion ist.