Gebraucht KLA / TENCOR SP1-TBI #9351867 zu verkaufen

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ID: 9351867
Wafergröße: 8"-12"
Weinlese: 2003
Inspection system, 8"-12" Options: BF Open single handler Vacuum handling 2003 vintage.
KLA/TENCOR SP1-TBI ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für Front-End-Produktionslinien. Das System bietet einen vollautomatischen, berührungslosen zweidimensionalen und dreidimensionalen Inspektionsprozess, um die Qualität von Halbleiterbauelementen sicherzustellen. Das Gerät kombiniert erweiterte Bildverarbeitungs-, Robotik- und Materialhandhabungsfunktionen in einem einzigen modularen Paket. KLA SP1T-BI verwendet fortschrittliche Zeilenscan-Bildgebungstechnologie und Datenkorrekturalgorithmen, um scharfe, hochauflösende Bilder zu erzeugen. Diese hochauflösenden Daten werden in eine automatisierte Fehlererkennungsmaschine eingespeist, die fortschrittliche Bildverarbeitungsalgorithmen zur Erkennung von Oberflächenfehlern und Topographievariationen verwendet. Das Werkzeug hat auch die Flexibilität, eine Vielzahl von Mustertypen und Musterformen zu überprüfen. TENCOR SP1 TBI ist in der Lage, die Behälterprüfung von 2x4, 2x6, 3x3 und 4x4 mm Komponenten durchzuführen. Der Vermögenswert hat auch die Fähigkeit, eine Vielzahl von Arten von nicht skalierten Defekten wie Photoresist-Rückstände, Kratzer, Gruben und Hohlräume zu erkennen. Das Modell kann auch das Kantenprofil des Wafers zur Fehlercharakterisierung messen. TENCOR SP 1 TBI verwendet auch Robotik zur automatisierten Handhabung und Positionierung von Maske und Werkstück. Dies trägt dazu bei, eine präzise Ausrichtung der Anlagenkomponenten jederzeit sicherzustellen. Das System kann auch so konfiguriert werden, dass es verschiedene Probengrößen und -formen aufnimmt. KLA/TENCOR SP1 TBI ist mit einer benutzerfreundlichen grafischen Oberfläche konzipiert und bietet eine Vielzahl statistischer Kontrollfunktionen zur Überwachung der Qualität der zu inspizierenden Proben. Das Gerät ist auch in der Lage, große Datenmengen zu speichern, so dass der Benutzer eine detaillierte statistische Analyse von Fehlern und Prozessdaten durchführen kann. Darüber hinaus bietet TENCOR SP 1-TBI eine Vielzahl von Funktionen für die Datenausgabe, darunter Standard-Bildformate, ASCII-Daten, Netzlistenausgabe und Datenbankdateien. Dadurch kann die Maschine einfach in eine Vielzahl anderer Software- und Hardwareumgebungen integriert werden. TENCOR SP1T-BI ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Masken- und Wafer-Inspektionswerkzeug, das auf hohe Leistung und Genauigkeit ausgelegt ist. Seine erweiterten Bildgebungs- und Automatisierungsfunktionen ermöglichen es ihm, Proben genau zu überprüfen, und seine flexible Konfiguration ermöglicht es ihm, eine Vielzahl von Anwendungsanforderungen zu erfüllen. Mit seiner benutzerfreundlichen Schnittstelle, umfangreichen Analysefunktionen und Datenausgabefähigkeiten ist SP 1-TBI eine ideale Lösung für Halbleiterbauelement-Produktionslinien.
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