Gebraucht KLA / TENCOR SP1-TBI #9354265 zu verkaufen
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ID: 9354265
Wafergröße: 8"
Inspection systems, 8"
External flat panel display, 22"
SECS / HSMS Interface
Light tower
Histogram with zoom
(2) Hard Disk Drive (HDD) Handlers, 8"
(2) Sender stations: SMIF Inside load port
(2) Receiver stations: Open cassette
Dual arm vacuum handler robot
Robot arm puck
KEYENCE Ionizer bar
FFU With fault alarm function
ARGON Ion laser (30 mW): 488 nm
Computer
Operating system: Windows NT.
KLA/TENCOR SP1-TBI ist eine hochentwickelte und fortschrittliche Ausrüstung für die Masken- und Waferinspektion. Es verwendet Hochgeschwindigkeitsoptik und 2-D-Bildverarbeitungstechnologie, um das Vorhandensein von Defekten in diesen Materialien zu erkennen. Das Masken- und Wafer-Inspektionssystem bietet schnelle Muster-zu-Muster-Scangeschwindigkeiten, so dass Teile schnell und genau inspiziert werden können. Das Gerät kann sowohl Maskenschichten als auch Wafer mit hoher Präzision auf Defekte untersuchen. Es verwendet eine optische Doppellinsenmaschine mit zwei Vergrößerungsstufen, um eine detaillierte Analyse bereitzustellen. Das Tool hat die Fähigkeit, sowohl automatische als auch manuelle Bilderfassungs- und Analyseprozesse. Es ist auch mit einer Vielzahl von Softwarefunktionen ausgestattet, wie Fehlerklassifizierung, Fehlergröße und Standortmessung und automatische Ausrichtung von Bildern. Der Vermögenswert kann Prüfungen zur Inline-Inspektion von Substraten durchführen. Die einziehbare Bildtafel bietet Flexibilität für den automatisierten oder manuellen Vergleich der Ergebnisse. Es bietet auch eine fortschrittliche fotometrische Analyse, die Unterschiede in den Breiten- und Längslinien des Musters auf der Maskenschicht erkennen kann. Darüber hinaus verfügt das Modell über eine eingebaute mikroskopische Kamera, mit der eine Probe in Submikron-Auflösung analysiert wird. KLA SP1T-BI verfügt über integrierte Bildaufnahme- und Verarbeitungsfunktionen, die eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit bieten. Das Gerät ist auch in der Lage, Überläufe und unvollständige Bilder zu handhaben. Es unterstützt eine Vielzahl von Datenformaten und kann in bestehende IT-Netzwerke und Systeme integriert werden. Das System stellt sicher, dass Maskenschichten und Wafer von höchster Qualität sind, indem es Wiederholbarkeit, Genauigkeit und Integrität liefert. Seine fortschrittliche Optik, hochpräzise Analysefähigkeiten und Flexibilität machen TENCOR SP1 TBI zu einer idealen Einheit für die Masken- und Waferinspektion in der Massenproduktion.
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