Gebraucht KLA / TENCOR SP1-TBI #9362764 zu verkaufen

KLA/TENCOR SP1-TBI (Surface Performance 1: Translating Beam Inspection) ist ein von der KLA Corporation entwickeltes Masken- und Wafer-Inspektionsgerät. Es wurde entwickelt, um die Musterleistung von Masken und Waferwerkzeugen zu überprüfen, die bei der Herstellung von Halbleitern verwendet werden. KLA SP1T-BI verwendet eine Translationsstrahl-Bildgebungsausrüstung, um eine hochgenaue Vollfeldinspektion in Echtzeit zu ermöglichen. Das System besteht aus einer x-y-z Abtaststufe und einer Zwei-Linsen-optischen Einheit, die es ermöglicht, Oberflächenbilder der Maske oder des Wafers während der Inspektion zu erfassen. Die optische Maschine ist mit achromatischen Linsen aufgebaut, wobei die obere Linse für eine höhere Auflösung sorgt, während die untere Linse eine Weitwinkelansicht beibehält. Das Tool arbeitet mit kostengünstiger Videobildanalyse-Hardware und bietet Hochgeschwindigkeits-Inspektions- und Scanfunktionen. TENCOR SP1 TBI ist mit anspruchsvoller Beleuchtungs-/Detektorhardware ausgestattet und ermöglicht sowohl kontaktlose als auch kontaktlose Inspektion. Es verwendet Push-Besen-Scannen für parallele Strahlerkennung und CCD-Kameras für die Erfassung, Verarbeitung und Analyse der Bilder. Mit dem integrierten High Dynamic Range Imaging kann das Asset nahezu jede Art von Musterschwankungen auf der Oberfläche der Maske oder des Wafers erkennen und messen und erstellt datenreiche Musterleistungsberichte. SP1T-BI unterstützt auch die Fehlerüberprüfung vor Ort und bietet verbesserte Musterinspektionsmöglichkeiten. Es ermöglicht die Inspektion mit einer Vielzahl von bildgebenden Techniken, wie Optical Character Recognition (OCR), Laser Image Processing (LIP), Moire, Micro Inspection, Edge Enhancement und Contrast Imaging. Darüber hinaus ist KLA/TENCOR SP1 TBI ein äußerst zuverlässiges Modell. Die fortschrittlichen Inspektionsalgorithmen und die Mehrfachbeleuchtungstechnik tragen dazu bei, dass die Inspektion vollständige und genaue Ergebnisse liefert. Das Gerät bietet auch eine sichere Benutzeroberfläche und verwendet eine Kombination aus dedizierten Sensoren und Robotik, um eine sichere Wartung und Bedienung zu gewährleisten. Mit seiner hervorragenden Leistung und zuverlässigen Eigenschaften ist KLA/TENCOR SP1T-BI ein ideales Werkzeug für die Inspektion und Prozessentwicklung von Masken und Wafern. Es ist ein leistungsstarkes High-End-System, das Flexibilität, Genauigkeit und zuverlässige Datenintegrität bietet.