Gebraucht KLA / TENCOR SP1-TBI #9375895 zu verkaufen
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KLA/TENCOR SP1-TBI ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die zur Erkennung von Defekten auf Schaltungsmustern von Maskenfolien und Wafern in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Das System besteht aus einer erweiterten Mustererkennungseinheit zur automatisierten und wiederholbaren Masken- und Waferinspektion. Die KLA- SP1T-BI verfügt über zwei separate optische Mikroskope, die eine zerstörungsfreie Prüfung komplexer Schaltungsmuster bis zu einer Größe von 100 Nanometern ermöglichen. Die Mikroskope verwenden automatisierte abbildende optische Systeme, um hochauflösende Bilder von Schaltungen zu erfassen, die dann von einer verbesserten Mustererkennungsmaschine analysiert werden, um mögliche Fehler zu erkennen. Dank seiner hochauflösenden Bildgebungstechnologie ist TENCOR SP1 TBI in der Lage, Fehlertypen wie Open-Shorts, Überbrückungen, Nadelöcher, Körner und verschiedene Arten von Maskenfehlern zu erkennen. Das Tool verfügt auch über erweiterte Fehleranalyse- und Sortierfunktionen basierend auf Fehlertyp, Größe, Position und physikalischen Eigenschaften. Es kann auch Fehlergröße und Profil in drei Dimensionen genau messen. Das Asset verfügt auch über ein integriertes Wafer-Ausrichtungsmodell für schnelles Wafer-Laden und Scannen. Dadurch kann die Ausrüstung eine Vielzahl von Masken und Wafern parallel prüfen. Es ist auch in der Lage, mehrere Masken zur weiteren Analyse in einzelne Teile zu trennen. KLA/TENCOR SP1 TBI bietet auch eine breite Palette von Qualitätssicherungstools wie schnelle Rüst- und Testläufe, automatische Kalibrierung, automatische Regelanpassung und Datenerfassungsfunktionen. Es ist auch in der Lage, Offline- und Online-Tests durchzuführen und kann sowohl in Labor- als auch in Produktionsumgebungen eingesetzt werden. Darüber hinaus ist das System mit einem geräuscharmen Betrieb ausgelegt und ist sehr zuverlässig und eignet sich daher für Produktionstests mit hohem Durchsatz. Alles in allem ist die TENCOR SP 1 TBI-Masken- und Wafer-Inspektionseinheit eine hochmoderne Maschine zur Erkennung von Defekten in komplexen Schaltungsmustern von Maskenfolien und Wafern. Dank hochauflösender Bildgebungstechnologie, fortschrittlicher Fehleranalyse- und Sortierfunktionen, integriertem Wafer-Alignment-Tool und einer Vielzahl von Qualitätssicherungswerkzeugen eignet sich das Asset sowohl für Labor- als auch für Produktionsumgebungen.
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