Gebraucht KLA / TENCOR SP1-TBI #9401034 zu verkaufen

KLA / TENCOR SP1-TBI
ID: 9401034
Wafergröße: 8"
Inspection system, 8".
KLA/TENCOR SP1-TBI ist eine automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die entwickelt wurde, um Fehler an Musterscheiben, Schrittmasken und Photomasken zu untersuchen und zu erkennen. Es verwendet ausgefeilte optische, absorptive und Mustererkennungsfunktionen, um extrem hohe Inspektionsempfindlichkeit und Genauigkeit zu erreichen. Der Kern des KLA SP1T-BI Systems ist eine integrierte Software- und Hardwareplattform, die optimiert ist, um die Oberflächen sowohl der gemusterten Wafer als auch der Masken schnell und zuverlässig zu inspizieren. Es umfasst die 5-Megapixel SP1-C Inspektionskamera, die fortschrittliche optische Technologie verwendet, um detaillierte Bilder von Fehlern und makellosen Oberflächen zu erfassen. Die SP1-C optische Technologie bietet überlegene Empfindlichkeit und Genauigkeit für die Erkennung von Merkmalen bis zu 0,3 μ m. Es verfügt auch über eine Hochgeschwindigkeits-Bilderfassungsrate, die eine schnelle Inspektion von Proben ermöglicht. Das Gerät nutzt auch eine Reihe von Inspektions-Software-Komponenten und leistungsfähige Prozessoren, um die Herausforderungen der fortschrittlichen Prozesskontrolle Anforderungen zu erfüllen. Insbesondere ist die Mask Plane Rating Software für die zuverlässige Erkennung und Messung von Linienbreiten, Leerzeichen und anderen Kantenmerkmalen konzipiert und eignet sich somit ideal zur Identifizierung von Ungleichförmigkeitsfehlern in Masken und Wafern. Die Bildverarbeitungssoftware von TENCOR SP1 TBI bietet auch einzigartige Eingaben in automatisierte Fehlerüberprüfungswerkzeuge, die eine schnelle und effiziente Überprüfung von Fehlerstandorten, automatische Bestätigungstests und automatisierte Fehlerklassifizierung ermöglichen. Darüber hinaus umfasst das Tool erweiterte Optimierungsalgorithmen, die es ermöglichen, interessante Bereiche schnell zu identifizieren und diese Bereiche für eine intensive Inspektion zu priorisieren. SP1 TBI Asset ist kompatibel mit einer Vielzahl von flexiblen Konfigurationsoptionen und Peripheriewerkzeugen, wie der AutoZone Software, die eine einfache Ausrichtung und Konfiguration des Modells gewährleistet. Darüber hinaus bietet die Anlage die Möglichkeit, Echtzeit-Feedback für Masken- und Wafer-Fertigungs- und Prozessingenieure zu generieren, was eine schnelle Beurteilung von Prozess- und praktischen Co-Design-Lösungen ermöglicht. Abschließend bietet SP1T-BI automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionssystem eine beeindruckende Palette fortschrittlicher Fähigkeiten, verbesserte Genauigkeit und schnelle Prozesskontrollbewertung, was es zur idealen Wahl für die Musterinspektion und -erkennung von Wafern und Masken macht.
Es liegen noch keine Bewertungen vor