Gebraucht KLA / TENCOR SP1 #87226 zu verkaufen

KLA/TENCOR SP1 ist eine hochpräzise, automatisierte Masken- und Waferinspektionsanlage. Das KLA SP1-System dient zur Erkennung, Analyse und Meldung von Fehlern auf der Maske und der Waferoberfläche. Das Gerät verfügt über führende Visionstechnologien sowie fortschrittliche Musteranpassungs- und Bildgebungstechniken, um hochgenaue, wiederholbare und zuverlässige Inspektionsergebnisse zu gewährleisten. Es bietet eine umfassende Palette von Funktionen: kritische Fehlererkennung, räumliche Analyse, Bildarchivierung und erweiterte Fehlerklassifizierung. Die Maschine TENCOR SP 1 nutzt modernste optische Detektionstechnologie, einschließlich UV-Beleuchtung und einem konfokalen Doppelwellenlängenmikroskop, um Fehler an Masken- und Waferoberflächen genau zu erkennen und zu analysieren. Das Tool wurde entwickelt, um bis zu 8 Bilderrahmen mit einer Auflösung von bis zu 300 nm zu erfassen. Das Asset verfügt zudem über eine hochauflösende Kamera mit sechs multispektralen Betrachtungskanälen. Das Modell bietet vier verschiedene Fehlermodi, um verschiedene Arten von Defekten zu untersuchen, darunter „visuelle“ (Oberflächenfehler wie Beulen, Durchschläge, Blasenbildung usw.), „strukturelle“ (Unterflurfehler wie Hohlräume, Delaminationen usw.), „katastrophale“ (verursachte großflächige Prozessanomalien) und „Vorhersage“. KLA SP 1 enthält eine Vielzahl von Messgrößen, wie Fehlergröße, Form und Position. Ein automatisierter Fehlerklassifizierer ermöglicht es dem Gerät, zwischen verschiedenen Fehlerarten zu unterscheiden und sicherzustellen, dass nur gültige (nicht falsch positive) Fehler gemeldet werden. Dies verbessert die Genauigkeit und reduziert Fehlalarme. Schließlich unterstützt das KLA/TENCOR SP 1-System erweiterte Berichtsfunktionen. Das Gerät verwendet leistungsstarke Analysen, um Graphen und andere zusammenfassende Statistiken zu erstellen, die zur Verbesserung der Produktionsprozesse verwendet werden können. Berichte können auf spezifische Anforderungen zugeschnitten werden, sodass Hersteller Einblicke in wichtige Prozessleistungsmetriken erhalten. Zusammenfassend ist SP1 eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine, die eine umfassende Palette von Funktionen bietet. Es verwendet führende Optik- und Fehlerklassifizierungstechnologie, um eine hochgenaue, wiederholbare und zuverlässige Fehlererkennung, -analyse und -berichterstattung zu ermöglichen. Das Werkzeug kann auf die spezifischen Anforderungen jedes Produktionsprozesses zugeschnitten werden, wodurch Hersteller wertvolle Einblicke in ihre Arbeitsabläufe erhalten.