Gebraucht KLA / TENCOR SP1 #9024558 zu verkaufen

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ID: 9024558
Wafergröße: 8"-12"
Chuck, 8"-12".
KLA/TENCOR SP1 ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage, die eine fortschrittliche Schaltungsinspektion und -analyse mit beispielloser Genauigkeit und Präzision ermöglicht. Mit einem optischen Dual-View-System, das aus zwei Digitalkameras besteht, bietet KLA SP1 Inspektion, Metrologie, Defektklassifizierung, OCR und mehrere andere Funktionalitäten, die es zum perfekten Werkzeug für die Prozesskontrolle und Ertragsoptimierung machen. Seine intuitive, einfach zu bedienende Software verfügt über eine breite Palette von Funktionen und Einstellungen, so dass Benutzer das Gerät an ihre spezifischen Bedürfnisse anpassen können. Die Inspektionsfunktion von TENCOR SP 1 ermöglicht die Erkennung und Identifizierung zahlreicher Schaltungsdefekte, wie z. B. Kratzer, Öffnungen, kurze Hosen, Überbrückungen, Risse, falsche Geometrien usw. Mit fortschrittlicher Laserstrahllenkung kann KLA SP 1 Anomalien genau lokalisieren und mit visuellen Markern übersichtlich darstellen. Mit dem Metrologie-KE können komplexere Messungen und Analysen durchgeführt werden, wie die Bewertung der Überlagerungsgenauigkeit oder der Oberflächenrauhigkeit. Die Fehlerklassifizierung verwendet einen benutzerdefinierten Algorithmus, um Fehler zu erkennen und zu klassifizieren, die dann entweder mit Pass/Fail-Indikatoren angezeigt oder in Datensätzen zur statistischen Auswertung gesammelt werden können. Die OCR-Funktion eignet sich perfekt zum Vergleich von Zeichenformen und -größen bei der Auswertung von Overlay-Rastern. SP 1 verfügt auch über eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche, die eine Vielzahl von Anzeigeoptionen bietet. Bilddaten können auf verschiedene Arten wie Konturplots, Drahtrahmen oder Überlagerungsraster angezeigt und aus verschiedenen Winkeln analysiert werden. Eine dedizierte Analyse-Suite ermöglicht es Benutzern, anspruchsvolle Datenabfragen zu erstellen und einen detaillierten Bildvergleich für eine präzise Fehleranalyse durchzuführen. Insgesamt ist SP1 eine leistungsstarke Lösung für die Aufgabe der Masken- und Waferinspektion, die in der Lage ist, ein breites Spektrum von Defekten mit überlegener Genauigkeit und Präzision zu erkennen. Erweiterte Analysen und benutzerdefinierte Benutzereinstellungen machen diese Maschine perfekt für eine schnelle und effektive Prozesskontrolle und Ertragsoptimierung.
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